[发明专利]一种用于碱抛的掩盖膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201911424907.X 申请日: 2019-12-31
公开(公告)号: CN111129171B 公开(公告)日: 2022-03-04
发明(设计)人: 许成德;孙涌涛;李鑫 申请(专利权)人: 横店集团东磁股份有限公司
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216;H01L31/18
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 巩克栋
地址: 322118 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种用于碱抛的掩盖膜及其制备方法,所述掩盖膜位于电池片的表面,其包括以任意顺序相互覆盖排列的碳化硅层、氧化铝层和氧化硅层;本发明所述掩盖膜中包含碳化硅层、氧化铝层和氧化硅层,其中碳化硅和氧化硅层里面具有丰富的氢离子,其游离到电池片的表面及电池片体内,具有钝化电池片的作用,从而有利于提升电池片的转换效率,而碳化硅层和氧化铝层具有致密特性,能有效抵御后续工艺中碱液的腐蚀;且本发明所述掩盖膜的制备迅速,所需温度低且能通过肉眼判断是否生成掩盖膜及掩盖膜的厚度。
搜索关键词: 一种 用于 掩盖 及其 制备 方法
【主权项】:
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