[发明专利]MEMS扬声器及其制造方法有效
| 申请号： | 201911423328.3 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111182428B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 程诗阳;李杨;但强;朱国 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/02;H04R31/00 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 谷孝东 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了MEMS扬声器及其制造方法，其中，MEMS扬声器包括基底、振动组件、隔膜以及连接杆，基底包括基座和自基座一侧延伸的支撑座，基座沿其厚度方向贯穿设有第一腔体，支撑座呈环形并围合形成与第一腔体连通的第二腔体，第一腔体沿垂直于厚度方向的内径小于第二腔体；振动组件固定于基底且至少覆盖部分第一腔体，连接杆的一端与振动组件连接、另一端经第一腔体延伸至第二腔体并与隔膜连接，隔膜悬设于第二腔体中并与支撑座的内壁间隔设置。本发明的MEMS扬声器，通过振动构件带动隔膜做活塞运动而产生声音，使其在单位时间内可以排开更多体积的空气，从而提高了MEMS扬声器的声音输出。 | ||
| 搜索关键词： | mems 扬声器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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