[发明专利]不连续脊状结构的半导体激光元件的制造方法在审
| 申请号： | 201911405615.1 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113131331A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 张永富;吴侑伦 | 申请（专利权）人： | 华星光通科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/02 | 分类号： | H01S5/02;H01S5/22 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种不连续脊状结构的半导体激光元件的制造方法，包括以下步骤，首先，提供一III‑V族半导体晶片。其次，在该半导体晶片上形成不连续脊状结构。其次，在该半导体晶片的正面形成p型电极与背面形成n型电极。其次，在该半导体晶片上形成沟槽以区隔开激光元件管芯，再进行劈裂形成激光共振腔的前反射面镜与后反射面镜。最后，在该前反射面镜与后反射面镜上形成保护层。本发明的制造方法，可以防止劈裂制作工艺时，发生乱裂所造成的表面损坏，因此能获得最多的激光元件管芯良品。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 结构 半导体 激光 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
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