[发明专利]树脂化合物、含其的光刻胶组合物及其合成方法在审
| 申请号： | 201911403644.4 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111087515A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 吴信;刘平;魏正华;宋红波;冉瑞成;傅志伟;毛国平 | 申请（专利权）人： | 江苏汉拓光学材料有限公司 |
| 主分类号： | C08F212/14 | 分类号： | C08F212/14;C08F220/18;C08F212/08;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 林高锋 |
| 地址： | 201612 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种树脂化合物，其至少包括衍生自羟基苯乙烯的第一重复单元和衍生自丙烯酸酯的第二重复单元。本申请还涉及上述树脂化合物的合成方法。本申请还涉及一种包含如上所述的树脂化合物的光刻胶组合物。本申请的光刻胶组合物可用于解决KrF厚膜光刻胶应用过程中出现的胶膜开裂、侧边形貌差及底部缝隙等问题，膜厚范围可达8‑20μm。 | ||
| 搜索关键词： | 树脂 化合物 光刻 组合 及其 合成 方法 | ||
【主权项】：
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