[发明专利]跟踪步进式多级抽真空系统

摘要

一种跟踪步进式多级抽真空系统，包括主抽真空部分，主抽真空部分包括主抽真空泵和用于连接主抽真空泵与工件的真空管，在真空管的管路中设有控制阀，以及在真空管的自由端设有用于与工件连接的连接头，还包括预抽真空部分，预抽真空部分包括预抽真空泵和预抽真空连接部，预抽真空连接部的一端与预抽真空泵连接，预抽真空连接部的另一端通过预抽真空控制阀与控制阀和连接头之间的管道连接；预抽真空连接部设在跟踪器上，预抽真空泵工作时，预抽真空连接部与工件同步运动；工作结束后，预抽真空连接部随着跟踪器返回起始端。本发明可以将转盘的直径做得更小，也不会产生在每套支管的工件进入抽真空环境时，对其它的支管的真空度破坏严重，整体真空度波动较大的问题。