[发明专利]功能薄膜及其制备方法、柔性压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201911398998.4 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111122022B | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;杜琦峰;陈颖 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 储照良 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种功能薄膜的制备方法，包括：在第一柔性薄膜的一表面上形成铁电材料的前驱体层，然后采用激光对该表面进行辐照，使得该表面形成复合微结构，复合微结构包括石墨烯微结构和嵌设于石墨烯微结构内部和/或表面的铁电材料颗粒，得到功能薄膜，其中，复合微结构的表面低于第一柔性薄膜的表面而形成自第一柔性薄膜表面延伸至复合微结构的凹槽。本发明还提供该制备方法得到的功能薄膜，以及基于该制备方法的柔性压力传感器及其制备方法。本发明的功能薄膜的制备方法简单，输出性能优异，基于该功能薄膜制备的柔性压力传感器具有密封性好、灵敏度高等性能优势。 | ||
| 搜索关键词： | 功能 薄膜 及其 制备 方法 柔性 压力传感器 | ||
【主权项】：
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