[发明专利]一种双通道自检测的MEMS微波功率分配器及其制备方法有效
| 申请号： | 201911393730.1 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111039252B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 张志强;郑从兵;韩磊 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;H01P5/16 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 朱小兵 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种双通道自检测的MEMS微波功率分配器及其制备方法，包括位于砷化镓衬底上的微波功分器、热电式MEMS微波功率传感器以及三个电容式MEMS微波功率传感器；所述微波功分器为“T”型对称结构，包括三个端口，所述微波功分器的中间部分设有ACPS信号线；所述热电式MEMS微波功率传感器位于所述ACPS信号线所组成的环形区域内；每个所述电容式MEMS微波功率传感器均通过CPW结构与一个所述端口连接。本发明通过电容式和热电式双通道能够实时在线检测MEMS微波功率分配器的两端口是否为等分微波功率或是否发生失配情况，并且在线测量出输入和输出端口处微波功率的比例，从而实现了MEMS微波功率分配器的实时在线功率自检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双通道 检测 mems 微波 功率 分配器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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