[发明专利]一种衍射元件衍射效率的测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 201911393114.6 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111060292B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 张斌智;王若秋;尹小林;张志宇;薛栋林;张学军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： |
本发明提供的衍射元件衍射效率的测量装置及测量方法，包括：干涉仪、衍射元件及光功率计，所述光功率计放置检测背景杂光能量为E |
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| 搜索关键词： | 一种 衍射 元件 效率 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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