[发明专利]一种衍射元件衍射效率的测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 201911393114.6 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111060292B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 张斌智;王若秋;尹小林;张志宇;薛栋林;张学军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 衍射 元件 效率 测量 装置 测量方法 | ||
1.一种衍射元件衍射效率的测量装置，其特征在于，包括：干涉仪、衍射元件及光功率计，所述干涉仪选取球面标准镜，干涉仪球面标准镜出射球面波距离其焦点位置为R，所述干涉仪距离所述衍射元件的距离为S，所述干涉仪出射的激光光束入射进入所述衍射元件并经所述衍射元件后聚焦，所述光功率计检测背景杂光能量为E0，所述光功率计检测入射进入所述衍射元件的入射总光强能量为E1，所述光功率计检测经所述衍射元件后聚焦后的出射总光强能量为E2，所述衍射元件的衍射效率为：
，其中，。
2.如权利要求1所述的一种衍射元件衍射效率的测量装置，其特征在于，所述干涉仪的口径为D，所述衍射元件的口径为d，且。
3.一种如权利要求1所述的一种衍射元件衍射效率的测量装置的测量方法，其特征在于，包括下述步骤：
搭建光路，所述光路包括干涉仪、衍射元件及光功率计，干涉仪球面标准镜出射球面波距离其焦点位置为R，所述干涉仪距离所述衍射元件的距离为S，所述干涉仪出射的激光光束入射进入所述衍射元件并经所述衍射元件后聚焦；
将测试环境内灯光关闭，所述光功率检测背景杂光能量为E0；
所述光功率计检测入射进入所述衍射元件的入射总光强能量为E1；
所述光功率计检测经所述衍射元件后聚焦后的出射总光强能量为E2；
所述衍射元件的衍射效率为：
，其中，。
4.如权利要求3所述的衍射元件衍射效率的测量装置的测量方法，其特征在于，所述干涉仪的口径为D，所述衍射元件的口径为d，且。
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