[发明专利]电阻式存储器结构及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201911390437.X 申请日: 2019-12-30
公开(公告)号: CN113130737B 公开(公告)日: 2022-02-22
发明(设计)人: 黄清俊;邓允斌;欧阳锦坚;谈文毅 申请(专利权)人: 联芯集成电路制造(厦门)有限公司
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 361100 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开一种电阻式存储器结构及其制作方法,其中该电阻式存储器结构包含一基底,一电阻式存储器埋入基底,其中电阻式存储器包含一下电极、一金属氧化物层和一上电极,一第一掺杂区埋入基底并且围绕下电极,一晶体管设置于电阻式存储器的一侧,其中晶体管包含一栅极结构位于基底上,一源极位于栅极结构的一侧并且埋入基底,一漏极位于栅极结构的另一侧并且埋入基底,其中第一掺杂区和漏极接触。
搜索关键词: 电阻 存储器 结构 及其 制作方法
【主权项】:
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