[发明专利]一种硅片清洗用换料装置有效
| 申请号： | 201911377645.6 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111136060B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 杨兆安 | 申请（专利权）人： | 内蒙古科思通科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京华仁联合知识产权代理有限公司 11588 | 代理人： | 王希刚 |
| 地址： | 014000 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明属于硅片清洗技术领域，尤其是一种硅片清洗用换料装置，针对现有的硅片清洗装置进行硅片清洗时，将硅片放置于置物箱中，继而将其移动至清洗箱中进行清洗，但是，清洗后进行硅片的换料较为繁琐，需要一个个将置物箱中的硅片取出，继而更换另一批硅片，极大的降低硅片清洗效率，缺乏实用性，现提出以下方案，包括底板、升降组件和固定组件。本发明通过设置有连接轴、限位环、支撑板和固定柱，硅片清洗后，取下储料箱，将另一个放置有硅片的储料箱放置于支撑板上，使得储料箱上的进水管对准固定柱，继而转动支撑板至限位板下方，再次调节气缸使得限位板位于储料箱周围，调节液压杆带动限位板对其进行固定，完成硅片的更换，方便快捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 用换料 装置 | ||
【主权项】：
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