[发明专利]一种硅片清洗用换料装置

说明书

本发明属于硅片清洗技术领域，尤其是一种硅片清洗用换料装置，针对现有的硅片清洗装置进行硅片清洗时，将硅片放置于置物箱中，继而将其移动至清洗箱中进行清洗，但是，清洗后进行硅片的换料较为繁琐，需要一个个将置物箱中的硅片取出，继而更换另一批硅片，极大的降低硅片清洗效率，缺乏实用性，现提出以下方案，包括底板、升降组件和固定组件。本发明通过设置有连接轴、限位环、支撑板和固定柱，硅片清洗后，取下储料箱，将另一个放置有硅片的储料箱放置于支撑板上，使得储料箱上的进水管对准固定柱，继而转动支撑板至限位板下方，再次调节气缸使得限位板位于储料箱周围，调节液压杆带动限位板对其进行固定，完成硅片的更换，方便快捷。

技术领域

本发明涉及硅片清洗技术领域，尤其涉及一种硅片清洗用换料装置。

背景技术

在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，这是科学技术进步的又一个里程碑；地壳中含量达25.8%的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉；由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场（mass market）的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，硅片在使用后，需要对其进行清洗，清洗的过程中需要进行硅片的更换。

现有的硅片清洗用换料装置存在有不足之处：现有的硅片清洗装置进行硅片清洗时，将硅片放置于置物箱中，继而将其移动至清洗箱中进行清洗，但是，清洗后进行硅片的换料较为繁琐，需要一个个将置物箱中的硅片取出，继而更换另一批硅片，极大的降低硅片清洗效率，缺乏实用性。

发明内容

基于现有的硅片清洗装置进行硅片清洗时，将硅片放置于置物箱中，继而将其移动至清洗箱中进行清洗，但是，清洗后进行硅片的换料较为繁琐，需要一个个将置物箱中的硅片取出，继而更换另一批硅片，极大的降低硅片清洗效率，缺乏实用性，本发明提出了一种硅片清洗用换料装置。

本发明提出的一种硅片清洗用换料装置，包括底板、升降组件和固定组件，所述底板的顶部外壁设有连接轴，且连接轴的外壁通过键固定有两个限位环，连接轴位于两个限位环之间的外壁套接有支撑板，支撑板的顶部外壁固定连接有固定柱，所述底板位于固定组件下方的顶部外壁设有清洗箱，且清洗箱的一侧外壁固定连接有排水管，排水管的外壁通过法兰连接有排水阀。

优选地，所述升降组件包括固定架，且固定架的顶部外壁设有气缸，气缸的底部外壁固定连接有吊杆。

优选地，所述吊杆的底部外壁设有上固定板，且上固定板的底部外壁等距离设有连接杆，多个连接杆的底部外壁设有同一个下固定板。

优选地，所述下固定板的顶部外壁设有电机，且电机的输出轴通过联轴器固定有转轴，转轴的底部外壁固定连接有固定环。

优选地，所述固定组件包括多个固定杆，且多个固定杆均固定连接于固定环的外壁，多个固定杆的相对一侧外壁均设有液压杆，每个液压杆的另一端均固定连接有限位板，多个限位板之间固定有同一个储料箱，多个液压杆连接有同步液压系统。

优选地，所述底板的一侧外壁设有连接架，且连接架的一侧外壁设有液压缸，液压缸的另一端设有调节板，调节板的顶部外壁固定连接有二号固定柱。

本发明中的有益效果为：

1、通过设置有连接轴、限位环、支撑板和固定柱，硅片清洗后，通过气缸带动储料箱上移，调节液压杆松开限位板对储料箱的固定，继而取下储料箱，将另一个放置有硅片的储料箱放置于支撑板上，使得储料箱上的进水管对准固定柱，继而转动支撑板至限位板下方，再次调节气缸使得限位板位于储料箱周围，调节液压杆带动限位板对其进行固定，完成硅片的更换，方便快捷。

2、通过设置有电机和转轴，将硅片的储料箱放置于清洗箱中后，启动电机，电机通过转轴带动储料箱转动，从而提高储料箱中的硅片清洗效果。