[发明专利]一种硅片清洗用换料装置

权利要求书

1.一种硅片清洗用换料装置，包括底板（1）、升降组件和固定组件，其特征在于，所述底板（1）的顶部外壁设有连接轴（11），且连接轴（11）的外壁通过键固定有两个限位环（12），连接轴（11）位于两个限位环（12）之间的外壁套接有支撑板（14），支撑板（14）的顶部外壁固定连接有固定柱（13），所述底板（1）位于固定组件下方的顶部外壁设有清洗箱（15），且清洗箱（15）的一侧外壁固定连接有排水管（17），排水管（17）的外壁通过法兰连接有排水阀（16）；

所述底板（1）的一侧外壁设有连接架（22），且连接架（22）的一侧外壁设有液压缸（23），液压缸（23）的另一端设有调节板（24），调节板（24）的顶部外壁固定连接有二号固定柱（25）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用换料装置，其特征在于，所述升降组件包括固定架（4），且固定架（4）的顶部外壁设有气缸（7），气缸（7）的底部外壁固定连接有吊杆（20）。

3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗用换料装置，其特征在于，所述吊杆（20）的底部外壁设有上固定板（8），且上固定板（8）的底部外壁等距离设有连接杆（6），多个连接杆（6）的底部外壁设有同一个下固定板（9）。

4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗用换料装置，其特征在于，所述下固定板（9）的顶部外壁设有电机（19），且电机（19）的输出轴通过联轴器固定有转轴（18），转轴（18）的底部外壁固定连接有固定环（21）。

5.根据权利要求4所述的一种硅片清洗用换料装置，其特征在于，所述固定组件包括多个固定杆（10），且多个固定杆（10）均固定连接于固定环（21）的外壁，多个固定杆（10）的相对一侧外壁均设有液压杆（5），每个液压杆（5）的另一端均固定连接有限位板（2），多个限位板（2）之间固定有同一个储料箱（3），多个液压杆（5）连接有同步液压系统。