[发明专利]电镀添加剂浓度监控装置在审
申请号: | 201911369937.5 | 申请日: | 2019-12-26 |
公开(公告)号: | CN113046818A | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 牛培林 | 申请(专利权)人: | 鸿宇科技股份有限公司;牛培林 |
主分类号: | C25D21/14 | 分类号: | C25D21/14 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种电镀添加剂浓度监控装置,其包含供给部、检测部、循环部以及控制部,其中,供给部具有基本溶液储藏槽以及添加剂储藏槽;检测部具有电沉积处理单元、侦测分析单元,其中,电沉积处理单元包括电镀槽以及一组设置于该电镀槽中的电极;循环部具有电镀液暂存槽以及试液暂存槽;控制部具有处理装置,其通过接收或发送电信号的方式与供给部、检测部以及循环部连接。本发明的电镀添加剂浓度监控装置具有高效率、低成本、高精确度以及高安全性,并同时可达到减少废液排放、资源再利用的优点。 | ||
搜索关键词: | 电镀 添加剂 浓度 监控 装置 | ||
【主权项】:
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