[发明专利]电镀添加剂浓度监控装置

说明书

一种电镀添加剂浓度监控装置，其包含供给部、检测部、循环部以及控制部，其中，供给部具有基本溶液储藏槽以及添加剂储藏槽；检测部具有电沉积处理单元、侦测分析单元，其中，电沉积处理单元包括电镀槽以及一组设置于该电镀槽中的电极；循环部具有电镀液暂存槽以及试液暂存槽；控制部具有处理装置，其通过接收或发送电信号的方式与供给部、检测部以及循环部连接。本发明的电镀添加剂浓度监控装置具有高效率、低成本、高精确度以及高安全性，并同时可达到减少废液排放、资源再利用的优点。

技术领域

本发明涉及一种浓度监控装置，尤指一种电镀添加剂浓度监控装置。

背景技术

电镀工艺应用广泛，不仅常见于生活用品、机械元件的制程，在印刷电路板或积体电路等工业中亦是必备的加工程序。随着工业技术的发展、进步，市场对于电镀成品的品质要求，如外观的精细度、平整度或光亮程度等亦不断提升。为了使电镀成品具有良好的品质，在电镀的过程中通常会加入电镀添加剂，以获得光亮度、平整度及精细度俱佳的电镀金属层。

除了不同种类的电镀添加剂会影响电镀金属层的品质外，在电镀过程中电镀添加剂的浓度也是重要的因素之一。然而，目前针对电镀添加剂浓度的测量与监控仍仰赖检测人员在电镀加工的过程中，以人工的方式从电镀槽中舀取电镀液并送至检测仪器进行浓度测量，随后再根据测量所得的浓度调整电镀槽中所含电镀添加剂的含量至所设定的标准。如此一来，不仅无法有效率且精确地即时监控电镀添加剂的含量而增加时间成本，每一次进行浓度测量后剩余的电镀液亦被当作废液处里、排放，造成资源浪费；此外，电镀液的组成成份中时常含有对人体健康有危害的物质，以人工的方式进行采样和检测将增加危害检测人员健康安全的风险。

由此可知，对于电镀添加剂浓度的监控还有待进一步的改进，以助于电镀加工制程进一步的发展。

发明内容

有鉴于上述现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种电镀添加剂浓度监控装置，于测量电镀添加剂浓度时具有节省时间、高效率、高精确度等优势，同时还能达成减少废液排放以及避免危害检测人员健康安全等优点。

为达成前述目的，本发明提供一种电镀添加剂浓度监控装置，其包含：一供给部，其包含一基本溶液储藏槽、一添加剂储藏槽、一基本溶液导出管以及一添加剂导出管；一检测部，其包含一电沉积处理单元、一侦测分析单元以及一电镀液导出管，其中，该电沉积处理单元包含一电镀槽、一组设置于该电镀槽中的电极，该侦测分析单元与该组电极连接，该电镀槽和该基本溶液储藏槽通过该基本溶液导出管连通，该电镀槽和该添加剂储藏槽通过该添加剂导出管连通；一循环部，其包含一电镀液暂存槽、一试液暂存槽、一试液导入管以及一试液导出管，其中，该试液暂存槽与该试液导入管以及该试液导出管连通，该试液暂存槽和该电镀槽通过该试液导出管连通，该电镀液暂存槽和该电镀槽通过该电镀液导出管连通；以及一控制部，其包含一处理装置，能够接收该侦测分析单元的信号及发送指令至该供给部、该检测部以及该循环部。

通过该供给部、该检测部、该循环部以及该控制部共同运行且相互配合，使得本发明的电镀添加剂浓度监控装置能以自动化的方式取代人工方式进行取样及检测，故能减少花费的时间、降低人力成本以及人为因素的误差，同时亦维护检测人员的健康安全，达到高效率、低成本、高精确度以及安全地监控电镀添加剂的浓度的效果；此外，通过该循环部设置液体暂存槽，能将多余或残留的液体留存并回收循环再利用，亦可达到减少废液排放、资源不浪费的效果。

较佳的，该供给部包含一纯水储藏槽以及一纯水导出管，该电镀槽与该纯水储藏槽通过该纯水导出管连通。通过设置该纯水储藏槽以及该纯水导出管，可视需求以纯水清洗该电镀槽以及该组电极，去除残留在该电镀槽中以及该组电极表面的电镀液，避免受到前一次侦测试液的浓度干扰，以进一步提升侦测电镀添加剂浓度的精确度。