[发明专利]张网装置

摘要

本发明公开了一种张网装置。张网装置包括：承载框架，具有安装面；以及多个气浮组件，设置于安装面，每个气浮组件包括：气浮底座，固定于安装面；承托盘，设置于气浮底座的背离安装面的一侧，承托盘具有朝向气浮底座的第一表面以及与第一表面相背设置的第二表面，第二表面能够承托掩膜板框架；气孔，气孔设置在气浮底座上并朝向承托盘的第一表面设置，以在吹气时使得承托盘浮起；以及限位部件，连接于气浮底座与承托盘之间，限位部件能够限制承托盘在平行于安装面方向上的可位移量。根据本发明实施例的张网装置，气浮组件对掩膜板框架的气浮支撑更加稳定可靠，提高对掩膜板框架的气浮效果。