[发明专利]张网装置

说明书

本发明公开了一种张网装置。张网装置包括：承载框架，具有安装面；以及多个气浮组件，设置于安装面，每个气浮组件包括：气浮底座，固定于安装面；承托盘，设置于气浮底座的背离安装面的一侧，承托盘具有朝向气浮底座的第一表面以及与第一表面相背设置的第二表面，第二表面能够承托掩膜板框架；气孔，气孔设置在气浮底座上并朝向承托盘的第一表面设置，以在吹气时使得承托盘浮起；以及限位部件，连接于气浮底座与承托盘之间，限位部件能够限制承托盘在平行于安装面方向上的可位移量。根据本发明实施例的张网装置，气浮组件对掩膜板框架的气浮支撑更加稳定可靠，提高对掩膜板框架的气浮效果。

技术领域

本发明涉及显示面板制造领域，具体涉及一种张网装置。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示面板因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。

OLED显示面板在生产过程中，需要将有机材料蒸镀在基板上，其中蒸镀工艺中通常需要用到精细金属掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)。FMM在使用前，需要将掩膜条焊接在掩膜板框架上，该过程需要在张网装置上进行。

在现有的张网装置中，采用气浮球或气浮孔将掩膜板框架吹动，以使掩膜板框架浮起。然而，采用气浮球或气浮孔吹动掩膜板框架的方式，对掩膜板框架的平坦度要求较高。

发明内容

本发明提供一种张网装置，降低对掩膜板框架的平坦度的要求。

本发明实施例提供一种张网装置，其包括：承载框架，具有安装面；以及多个气浮组件，设置于安装面，每个气浮组件包括：气浮底座，固定于安装面；承托盘，设置于气浮底座的背离安装面的一侧，承托盘具有朝向气浮底座的第一表面以及与第一表面相背设置的第二表面，第二表面能够承托掩膜板框架；气孔，气孔设置在气浮底座上并朝向承托盘的第一表面设置，以在吹气时使得承托盘浮起；以及限位部件，连接于气浮底座与承托盘之间，限位部件能够限制承托盘在平行于安装面方向上的可位移量。

根据本发明的前述任一实施方式，限位部件包括多个支撑柱，每个支撑柱包括相对的第一端部和第二端部，第一端部穿设于气浮底座，第二端部穿设于承托盘，承托盘相对支撑柱沿支撑柱的轴向可移动。

根据本发明的前述任一实施方式，气浮底座的朝向承托盘的表面设有第一限位环，支撑柱的第一端部穿设于第一限位环内，并与第一限位环的内周面间隙配合。

根据本发明的前述任一实施方式，第一限位环的内周面的半径为0.3毫米至0.5毫米。

根据本发明的前述任一实施方式，承托盘的第一表面设有第二限位环，支撑柱的第二端部穿设于第二限位环内，并与第二限位环的内周面间隙配合。

根据本发明的前述任一实施方式，第二限位环的内周面的半径为0.3毫米至0.5毫米。

根据本发明的前述任一实施方式，气孔的数量为多个，其中，每个支撑柱的第二端部的端面设有至少一个气孔。

根据本发明的前述任一实施方式，承托盘呈圆柱状，多个支撑柱均匀分散于承托盘的中心轴线的周边。

根据本发明的前述任一实施方式，气孔设置在气浮底座的朝向承托盘的表面上，并在气浮底座上居中设置。

根据本发明的前述任一实施方式，承托盘的第一表面设有多个通气槽，气孔在第一表面上的正投影与多个通气槽均交叠。

根据本发明的前述任一实施方式，限位部件包括多个弹性件，每个弹性件的一端连接气浮底盘，另一端连接承托盘。

根据本发明的前述任一实施方式，张网装置还包括：气体输送部件，通过管道与气孔连通，气体输送部件能够向气孔输送气体。