[发明专利]张网装置

权利要求书

1.一种张网装置，其特征在于，包括：

承载框架，具有安装面；以及

多个气浮组件，设置于所述安装面，每个所述气浮组件包括：

气浮底座，固定于所述安装面；

承托盘，设置于所述气浮底座的背离所述安装面的一侧，所述承托盘具有朝向所述气浮底座的第一表面以及与所述第一表面相背设置的第二表面，所述第二表面能够承托掩膜板框架；

气孔，所述气孔设置在所述气浮底座上并朝向所述承托盘的所述第一表面设置，以在吹气时使得所述承托盘浮起；以及

限位部件，连接于所述气浮底座与所述承托盘之间，所述限位部件能够限制所述承托盘在平行于所述安装面方向上的可位移量。

2.根据权利要求1所述的张网装置，其特征在于，所述限位部件包括多个支撑柱，每个所述支撑柱包括相对的第一端部和第二端部，所述第一端部穿设于所述气浮底座，所述第二端部穿设于所述承托盘，所述承托盘相对所述支撑柱沿所述支撑柱的轴向可移动。

3.根据权利要求2所述的张网装置，其特征在于，所述气浮底座的朝向所述承托盘的表面设有第一限位环，所述支撑柱的所述第一端部穿设于所述第一限位环内，并与所述第一限位环的内周面间隙配合。

4.根据权利要求2所述的张网装置，其特征在于，所述承托盘的所述第一表面设有第二限位环，所述支撑柱的所述第二端部穿设于所述第二限位环内，并与所述第二限位环的内周面间隙配合。

5.根据权利要求2所述的张网装置，其特征在于，所述气孔的数量为多个，其中，每个所述支撑柱的所述第二端部的端面设有至少一个所述气孔。

6.根据权利要求2所述的张网装置，其特征在于，所述承托盘呈圆柱状，所述多个支撑柱均匀分散于所述承托盘的中心轴线的周边。

7.根据权利要求1所述的张网装置，其特征在于，所述气孔设置在所述气浮底座的朝向所述承托盘的表面上，并在所述气浮底座上居中设置。

8.根据权利要求1所述的张网装置，其特征在于，所述承托盘的所述第一表面设有多个通气槽，所述气孔在所述第一表面上的正投影与多个所述通气槽均交叠。

9.根据权利要求1所述的张网装置，其特征在于，所述限位部件包括多个弹性件，每个所述弹性件的一端连接所述气浮底座 ，另一端连接所述承托盘。

10.根据权利要求1所述的张网装置，其特征在于，还包括：

气体输送部件，通过管道与所述气孔连通，所述气体输送部件能够向所述气孔输送气体。