[发明专利]一种高频大带宽薄膜体波滤波器结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201911347704.5 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN110994097B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王为标;陆增天 | 申请（专利权）人： | 无锡市好达电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01P1/203 | 分类号： | H01P1/203;H01P1/20;H01P11/00 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214124 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高频大带宽薄膜体波滤波器结构及其制备方法，涉及信息电子材料技术领域，该结构由下至上依次包括衬底、叉指换能器、氧化物保护层和压电薄膜层，叉指换能器设置在衬底上，氧化物保护层设置在衬底上并覆盖叉指换能器的相邻叉指间隙，压电薄膜层设置在氧化物保护层上，氧化物保护层的厚度大于等于叉指换能器的厚度，采用本申请的制备方法可获得晶体质量高、一致性好、传播损耗小的压电薄膜层，使用本申请的体波滤波器结构能获得高声速、大机电耦合系数，满足了移动通讯对高频率大带宽的要求，且该结构使用的制备工艺容易实现，易于大规模推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高频 带宽 薄膜 滤波器 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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