[发明专利]基于干式显影和金属掺杂Sb2 有效
| 申请号： | 201911325058.2 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN110989301B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 魏涛;魏劲松;刘波 | 申请（专利权）人： | 苏州科技大学;中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/42 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 苏张林 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于干式显影和金属掺杂Sb |
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| 搜索关键词： | 基于 显影 金属 掺杂 sb base sub | ||
【主权项】：
暂无信息
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