[发明专利]一种次级电子发射薄膜材料的高效简易制备方法

摘要

一种次级电子发射薄膜材料的高效简易制备方法，属于薄膜材料的制备技术领域。以表面光滑平整的硅片、银片、FTO玻璃为基底材料，以乙酸镁和乙酸锌作为主要前驱体物，氮气作为载气，在对基底加热的条件下，通过气凝胶化学气相沉积结合高温退火，制备获得MgO/MgO‑ZnO薄膜。采用本发明方法制备次级发射薄膜材料具有制备工艺简单、成本低、掺杂元素和膜厚可控、成分均匀、次级发射系数高、耐电子轰击且发射性能稳定等优点。有望应用于多种光电倍增管、图像增加器、等离子显示器等器件中。