[发明专利]一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统及方法有效
| 申请号： | 201911302062.7 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111128668B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 赵杨;魏建国;方吉汉;李光熙;杨振宇;谭畅;韩先伟 | 申请（专利权）人： | 西安航天动力研究所 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 张举 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统及方法，旨在解决现有技术中存在的阻抗匹配系统尺寸大以及适用性差的问题，本发明的一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统，包括固定匹配器和宽频射频源；固定匹配器包括固定电容C1和固定电容C2；固定电容C1一端与放电腔内的射频天线连接，另一端通过射频传输线与宽频射频源的输出端连接固定电容C2一端通过射频传输线与宽频射频源的输出端连接，另一端接地；宽频射频源用于调节射频频率。基于一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统，本发明还提供了一种用于射频等离子体的阻抗匹配方法，该方法操作简单效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 射频 等离子体 阻抗匹配 系统 方法 | ||
【主权项】：
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