[发明专利]双面太阳能电池的平滑后侧掺杂层在审

专利信息
申请号: 201911294280.0 申请日: 2019-12-16
公开(公告)号: CN111430501A 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 李远东;F·都灵柯西;M·J·瑞卡曼帕育;J·普尔曼斯 申请(专利权)人: IMEC非营利协会;鲁汶天主教大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/068;H01L31/0236
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 蔡文清;沙永生
地址: 比利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供了一种在晶体硅双面太阳能电池的后侧(112)处产生掺杂层的方法,所述方法包括:至少使太阳能电池的硅基材(110)的后侧(114)纹理化以产生棱锥图案(120),从而产生后侧的棱锥形拓扑结构;通过使用外延生长在棱锥上生长至少一个掺杂的硅外延层(130),从而在后侧形成(S102‑1)掺杂层,并且在形成掺杂层的同时,通过使用刻面演变,通过至少一个外延层的生长使后侧的棱锥形拓扑结构变平滑,并且其中,外延生长持续直至大部分棱锥的上部上在所述至少一个外延层的表面(134)与基材之间的角度(132)为5°至35°为止。还提供晶体硅双面太阳能电池。
搜索关键词: 双面 太阳能电池 平滑 掺杂
【主权项】:
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