[发明专利]聚氨酯研磨垫及其制造方法、及化学机械研磨装置在审
| 申请号： | 201911268367.0 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN111318957A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 金光复 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24B37/10;C08G18/76;C08G18/48;H01L21/306 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 彭辉剑;龚慧惠 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： |
本公开提供了一种用于制造聚氨酯研磨垫的组成物。该组成物包括5～15wt％的MBCA、25～45wt％的异氰酸酯、45～55wt％的多元醇、5～35wt％的EOPO以及1～5wt％的添加剂。由本公开的组成物制成的聚氨酯研磨垫的硬度在40至70肖氏硬度D的范围内，伸长率在200％至400％的范围内，密度在0.7至0.9g/cc的范围内，模量在25000至40000kg/cm |
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| 搜索关键词： | 聚氨酯 研磨 及其 制造 方法 化学 机械 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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