[发明专利]X射线检查装置以及X射线检查方法在审

专利信息
申请号: 201911257396.7 申请日: 2019-12-10
公开(公告)号: CN111650223A 公开(公告)日: 2020-09-11
发明(设计)人: 巽正树;八木勇夫;高桥春男 申请(专利权)人: 日本株式会社日立高新技术科学
主分类号: G01N23/04 分类号: G01N23/04
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 黄志坚;崔成哲
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供X射线检查装置以及X射线检查方法,能够一边维持检测能力一边削减从TDI传感器传送的数据量,并且能够实时地传送数据。具有:X射线源;试样移动机构,其使试样沿特定的方向移动;TDI传感器;以及TDI运算部,其对沿着特定的方向的多个像素4g中的电荷的蓄积和传送进行控制,TDI运算部具有将进行了电荷的蓄积和传送的累积电荷的数据传送到外部的数据传送部,并且具有将能够检测试样的多列的线传感器4l预先设定为判断区域4A并在判断区域中检测试样的功能,数据传送部将在判断区域中检测到试样的像素的行及该行的周围的行设为检测行,仅对检测行的像素向外部传送累积电荷的数据。
搜索关键词: 射线 检查 装置 以及 方法
【主权项】:
暂无信息
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