[发明专利]用于多种化学源之气体分配装置

摘要

本发明提供了一种用于多种化学源之气体分配装置，其包含：一喷淋组件，具有至少二层迭之板体，且该至少二层迭之板体中央具有一混气室，而该混气室之壁面设有复数个气孔；以及一管路组件，系套设于该喷淋组件上，且具有一阶梯式之本体及至少二气体管路，该阶梯式之本体配合与该至少二层迭之板体结合后，于该阶梯式之本体与该至少二层迭之板体之间界定出一至少二气室，而每一气室分别与每一气体管路连通，且每一气室与该混气室之复数个气孔连通。