[发明专利]一种薄膜式电容传感器有效
| 申请号： | 201911212861.5 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN110926662B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 郜晨希;王迪;林琳;刘瑞琪;郑旭;远雁;李超波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01D5/241 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种薄膜式电容传感器，包括陶瓷定电极、定电极连接环、外壳、外壳上盖、压紧环、调节环和膜片动电极，其中：陶瓷定电极作为电容极板，与膜片动电极组成可变电容，用于检测和输出被测环境压力变化；定电极连接环用于连接陶瓷定电极和薄膜式电容传感器的外壳；外壳位于传感器的最外侧，起到支持作用；外壳上盖焊接到外壳上，用于密封薄膜式电容传感器和压紧定电极连接环；压紧环用于压紧定电极连接环，防止陶瓷定电极滑动；调节环用于作为膜片动电极与陶瓷定电极之间的电容间距；膜片动电极作为电容极板，和陶瓷定电极组成可变电容，当外界压力变化时，膜片受力变形，导致其于陶瓷定电极间距发生变化，从而产生电容变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 电容 传感器 | ||
【主权项】：
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