[发明专利]一种薄膜式电容传感器

权利要求书

1.一种薄膜式电容传感器，其特征在于，包括陶瓷定电极(3)、定电极连接环(2)、外壳上盖(5)、压紧环(6)、调节环(7)、膜片动电极(8)和外壳(1)，其中：

陶瓷定电极(3)，作为电容极板，与膜片动电极(8)组成可变电容，用于检测和输出被测环境压力变化；

定电极连接环(2)，用于连接陶瓷定电极(3)和薄膜式电容传感器的外壳(1)，其中，所述定电极连接环(2)有一圈环形槽，所述环形槽的槽壁梁的宽和厚的比大于2∶1，用于在所述薄膜式电容传感器的温度变化时产生柔性形变，以避免温飘导致的机械迟滞；

外壳上盖(5)，焊接到外壳(1)上，用于密封薄膜式电容传感器和压紧定电极连接环(2)；

压紧环(6)，用于压紧定电极连接环(2)，防止陶瓷定电极(3)滑动；

调节环(7)，用于作为膜片动电极(8)与陶瓷定电极(3)之间的电容间距；

膜片动电极(8)，作为电容极板，和陶瓷定电极(3)组成可变电容，当外界压力变化时，膜片受力变形，导致其于陶瓷定电极(3)间距发生变化，从而产生电容变化；

外壳(1)，位于传感器的最外侧，起到支持作用；

其中，所述定电极连接环(2)、膜片动电极(8)和调节环(7)的材质相同；

所述陶瓷定电极(3)和所述定电极连接环(2)通过钎焊或者固相扩散的方式相连接。

2.根据权利要求1所述的薄膜式电容传感器，其特征在于，所述定电极连接环(2)、膜片动电极(8)和调节环(7)采用低膨胀合金材料制成。

3.根据权利要求2所述的薄膜式电容传感器，其特征在于，所述低膨胀合金材料为GH3600。

4.根据权利要求1所述的薄膜式电容传感器，其特征在于，所述压紧环(6)为弹性结构。