[发明专利]化学机械平坦化系统在审
申请号: | 201911194720.5 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN111230731A | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 陈世忠;林奕劭;彭升泰;薛雅仁;陈鸿霖;李仁铎 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | B24B37/20 | 分类号: | B24B37/20;B24B37/27;B24B37/34;B24B57/02 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 聂慧荃;闫华 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种化学机械平坦化系统,此处描述的多层窗口可用于化学机械平坦化系统及化学机械平坦化工艺。本公开实施例的多层窗口包括透明结构层及亲水性界面活性剂,其涂覆于此透明结构层至少一表面的至少一部分。此多层窗口可位于研磨垫、平台或两者中。 | ||
搜索关键词: | 化学 机械 平坦 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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