[发明专利]一种用于芯片质子交换的机械臂控制夹具及其使用方法在审
| 申请号： | 201911193375.3 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110842961A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 陈友生 | 申请（专利权）人： | 湖南率为控制科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J15/08;G02B6/134 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 曹鹏飞 |
| 地址： | 421000 湖南省衡阳市雁峰区*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于芯片质子交换的机械臂控制夹具，固定于质子交换炉的顶端及内部，包括：固定模块、电机控制装置、传动装置、机械转动悬臂、机械位移臂、夹具卡持模块、芯片夹具。另外，本发明还公开了一种根据机械臂控制夹具进行质子交换的方法。本发明可以机械控制铌酸锂基片的移动，有效地减小质子交换过程中的人工操作及开关质子交换炉给交换过程带来的温度波动，从而减小对操作人员的身体伤害并提高质子交换制作铌酸锂光波导的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 芯片 质子 交换 机械 控制 夹具 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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