[发明专利]温度调节装置及研磨装置有效
| 申请号： | 201911191166.5 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN111230726B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 本岛靖之 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/015 | 分类号： | B24B37/015;B24B37/10;B24B37/34;B24B55/00;B24B55/02 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为温度调节装置及研磨装置，课题在于改善研磨装置中的研磨的面内均匀性。本发明提供一种温度调节装置，用于对旋转的研磨垫的温度进行调节，所述温度调节装置具备：传热体，该传热体能够与所述研磨垫的上表面接触；臂，该臂用于将所述传热体保持在所述研磨垫上；上游侧柱部件及下游侧柱部件，该上游侧柱部件及下游侧柱部件是竖立设置于所述传热体的上表面的柱部件，分别配置于成为所述研磨垫的旋转的上游侧的位置和成为所述研磨垫的旋转的下游侧的位置；以及伸出部件，该伸出部件从所述上游侧柱部件及下游侧柱部件沿与所述传热体的上表面平行的方向伸出，所述伸出部件能够与所述臂的上表面接触。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 调节 装置 研磨 | ||
【主权项】：
暂无信息
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