[发明专利]温度调节装置及研磨装置

权利要求书

1.一种温度调节装置，用于对旋转的研磨垫的温度进行调节，其特征在于，具备：

传热体，该传热体能够与所述研磨垫的上表面接触；

臂，该臂用于将所述传热体保持在所述研磨垫上，所述臂具备臂基部和臂顶端部，所述臂顶端部具备引导部；

一对上游侧柱部件，该一对上游侧柱部件竖立设置于所述传热体的上表面，配置于成为所述研磨垫的旋转的上游侧的位置，所述一对上游侧柱部件分别相对于所述臂顶端部位于相反侧；

一对下游侧柱部件，该一对该下游侧柱部件竖立设置于所述传热体的上表面，配置于成为所述研磨垫的旋转的下游侧的位置，所述一对下游侧柱部件分别相对于所述臂顶端部位于相反侧；以及

伸出部件，该伸出部件从所述上游侧柱部件及下游侧柱部件沿与所述传热体的上表面平行的方向伸出，

所述伸出部件能够与所述臂顶端部的上表面接触，

所述上游侧柱部件能够与所述引导部的第一侧面和第二侧面中的一方接触，

所述下游侧柱部件能够与所述引导部的所述第一侧面和所述第二侧面中的另一方接触，

所述第一侧面是朝向所述旋转的上游侧的面，

所述第二侧面是朝向所述旋转的下游侧的面。

2.根据权利要求1所述的温度调节装置，其特征在于，

在所述传热体接触到所述研磨垫时，所述伸出部件已从所述臂顶端部分离。

3.根据权利要求2所述的温度调节装置，其特征在于，

在所述臂顶端部与所述伸出部件接触时，所述传热体从所述研磨垫分离。

4.根据权利要求1所述的温度调节装置，其特征在于，

所述一对上游侧柱部件中的一方和所述一对下游侧柱部件中的一方能够与所述臂顶端部的第三侧面接触，

所述一对上游侧柱部件中的另一方和所述一对下游侧柱部件中的另一方能够与所述臂顶端部的第四侧面接触，

所述第三侧面是朝向所述研磨垫的半径方向的内周侧的面，

所述第四侧面是朝向所述研磨垫的半径方向的外周侧的面。

5.根据权利要求1或4所述的温度调节装置，其特征在于，

所述上游侧柱部件及所述下游侧柱部件限制所述传热体与所述臂在与所述传热体的上表面平行的方向上的相对移动。

6.根据权利要求1所述的温度调节装置，其特征在于，

所述臂顶端部的与所述伸出部件接触的部分由弹性部件构成。

7.根据权利要求1所述的温度调节装置，其特征在于，

所述引导部由弹性部件构成。

8.根据权利要求1所述的温度调节装置，其特征在于，

所述伸出部件在所述研磨垫的半径方向上延伸。

9.根据权利要求1所述的温度调节装置，其中，

还具备用于使所述传热体上下移动的可动机构。

10.根据权利要求9所述的温度调节装置，其中，

所述可动机构还能够使所述传热体在水平方向上移动。

11.一种温度调节装置，用于对旋转的研磨垫的温度进行调节，其特征在于，具备：

传热体，该传热体能够与所述研磨垫的上表面接触；

臂，该臂用于将所述传热体保持在所述研磨垫上；

上游侧柱部件及下游侧柱部件，该上游侧柱部件及该下游侧柱部件是竖立设置于所述传热体的上表面的柱部件，分别配置于成为所述研磨垫的旋转的上游侧的位置和成为所述研磨垫的旋转的下游侧的位置；以及

伸出部件，该伸出部件从所述上游侧柱部件及下游侧柱部件沿与所述传热体的上表面平行的方向伸出，

所述伸出部件能够与所述臂的上表面接触，

在所述传热体与所述研磨垫接触时，所述上游侧柱部件上的所述伸出部件与所述臂之间的高度方向的间隙与所述下游侧柱部件上的所述伸出部件与所述臂之间的高度方向的间隙不同。