[发明专利]尾气处理装置及半导体加工设备在审
| 申请号： | 201911180959.7 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110975453A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 姜艳杰;李旭刚 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/24 | 分类号： | B01D46/24;B01D46/42;B01D53/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请实施例提供了一种尾气处理装置及半导体加工设备。该尾气处理装置，用于对工艺腔室的尾气进行处理，包括：壳体、进气管、抽气管及处理机构；壳体内形成有容置腔，用于容置工艺腔室排出的尾气；进气管及抽气管均设置于壳体上，并且与容置腔连通设置；进气管与工艺腔室的废气口连接，用于将尾气导引至容置腔内；抽气管用于将处理完的尾气导引至容置腔外；处理机构设置于容置腔内并且与壳体连接，处理机构用于对尾气进行冷却及过滤处理。本申请实施例实现了防止尾气对真空泵造成污染，从而可以有效提高真空泵的使用寿命，进而还可以提高半导体加工设备的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 尾气 处理 装置 半导体 加工 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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