[发明专利]基板装卸装置以及光学镀膜设备在审
| 申请号： | 201911175133.1 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN110794488A | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 徐旻生;张晓鹏;王应斌;龚文志;张亮;李永杰 | 申请（专利权）人： | 爱发科豪威光电薄膜科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10;G02B1/11;G02B1/14;G02B1/18 |
| 代理公司： | 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王政 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及对基板实施镀膜处理时使用与的基板装卸装置以及光学镀膜设备，其中，基板装卸装置包括粘附结构、吹压结构以及转卸结构，粘附结构由柔性材料制成，并用于承载基板，所述粘附结构的上侧面平铺设置，吹压结构位于所述基板上侧，并用于收到压缩空气或高速气流时向所述基板吹出压贴气流，所述压贴气流用于使所述基板具有向所述粘附结构运动的趋势，并将所述基板和所述粘附结构的上侧面之间的空气排出，以使所述基板粘附于所述粘附结构的上侧面，转卸结构用于驱动所述粘附结构绕一竖直方向设置的载料轴线转动。在装卸基板的过程中，不会损坏基板的板面。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 粘附 上侧面 装卸装置 压贴 光学镀膜设备 承载基板 镀膜处理 方向设置 高速气流 结构运动 平铺设置 柔性材料 损坏基板 压缩空气 轴线转动 对基板 板面 吹出 排出 竖直 装卸 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种基板装卸装置，其特征在于，包括：/n粘附结构，由柔性材料制成，并用于承载基板，所述粘附结构的上侧面平铺设置；/n吹压结构，位于所述基板上侧，并用于收到压缩空气或高速气流时向所述基板吹出压贴气流，所述压贴气流用于使所述基板具有向所述粘附结构运动的趋势，并将所述基板和所述粘附结构的上侧面之间的空气排出，以使所述基板粘附于所述粘附结构的上侧面；/n转卸结构，用于驱动所述粘附结构绕一竖直方向设置的载料轴线转动。/n
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