[发明专利]一种激光制备图案化透明导电薄膜的方法有效
| 申请号： | 201911149767.X | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN110838390B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 周圣军;赵强;桂成群;万辉;于圣韬 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 杨晓燕 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光制备图案化透明导电薄膜的方法，包括以下步骤：1)清洗基底；2)在基底上面旋涂光刻胶，烤干；3)使用激光直写设备设计图案并在覆盖有光刻胶的基底上曝光图案化的区域，然后用显影液去除对应图案化区域的光刻胶；4)将银纳米浆料涂至图案化区域，占据去除光刻胶后的区域，再使用研磨的方法，保证银纳米浆料与剩余光刻胶厚度均匀一致；5)把透光片压在步骤4)得到的图案化区域上，然后激光穿过透光片扫描基底的图案化区域，烧结固化银纳米浆料；6)去除剩余光刻胶，即得图案化透明导电薄膜。本方法可以任意设计图案，方便快捷地实现透明导电薄膜的图案化，灵活性强，可重复性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 制备 图案 透明 导电 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
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