[发明专利]一种硅基网络结构及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201911149134.9 申请日: 2019-11-21
公开(公告)号: CN111017869B 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 李静;钟昌祥;尹君;惠文杰;林水潮;郑南峰 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: B81B7/04 分类号: B81B7/04;B81C1/00
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 王茹
地址: 361000 *** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种硅基网络结构及其制备方法。包括:硅基底,上表面具有多个阵列分布的球状孔洞;材料层,位于所述硅基底上表面,所述材料层具有多个阵列分布的半球状穿孔,其中所述半球状穿孔正好位于所述球状孔洞上方并且连通所述球状孔洞,而共同组成多个阵列分布的葫芦状孔洞;包覆层,设置于所述硅基底与所述材料层表面上,沿着所述葫芦状孔洞的内表面分布,其中,所述包覆层包括金属、金属化合物或高分子材料层。本发明制备工艺简单、稳定、成本低,同时能够制备多种不同材料复合的葫芦状微纳米阵列结构,该结构能够在发挥微纳米阵列结构独有优势的同时综合多种材料的性质,在催化、生物检测、光电探测等领域具有广泛的潜在应用。
搜索关键词: 一种 网络 结构 及其 制备 方法
【主权项】:
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