[发明专利]一种石英舟硅片的顶升机构

摘要

本发明公开了一种石英舟硅片的顶升机构，解决了现有托起机构存在的制造成本高维修更换不方便和使用寿命低的问题。包括丝杠驱动机构，在丝杠驱动机构上连接有滑块（7），滑块（7）与顶升架底板（9）连接，在顶升架底板（9）上间隔地彼此平行地设置有两立板（10），在每个立板（10）的顶端均设置有梳齿状托架（11）；在石英舟安装架（13）上设置有石英舟（15），在石英舟下方的石英舟安装架（13）上设置有长条缝隙（14），两个梳齿状托架依次穿过石英舟安装架（13）上的长条缝隙（14）和石英舟（15）后设置在石英舟（15）上方，在两个梳齿状托架之间设置有硅片（12）。提高托齿的安装精度，提升生产效率。

主权项

1.一种石英舟硅片的顶升机构，包括丝杠支撑架（1）和石英舟安装架（13），丝杠支撑架（1）设置在石英舟安装架（13）的正下方，其特征在于，在丝杠支撑架（1）上安装有沿上下竖直方向设置的丝杠导轨安装板（2），在丝杠导轨安装板（2）上设置有一对丝杠支撑座（4）和滑块导轨（3），在一对丝杠支撑座（4）上安装有沿上下竖直方向设置的丝杠（5），在丝杠支撑架（1）上设置有丝杠驱动电机（6），丝杠驱动电机（6）的输出轴通过联轴器与丝杠（5）连接在一起，在丝杠（5）上设置有丝杠螺母，在丝杠螺母的左侧面上连接有滑块（7），滑块（7）设置在滑块导轨（3）上，在丝杠螺母的右侧面上设置有连接过渡板（8），在连接过渡板（8）上设置顶升架底板（9），在顶升架底板（9）上间隔地彼此平行地设置有两立板（10），在每个立板（10）的顶端均设置有梳齿状托架（11）；在石英舟安装架（13）上设置有石英舟（15），在石英舟（15）下方的石英舟安装架（13）上设置有长条缝隙（14），两个梳齿状托架（11）依次穿过石英舟安装架（13）上的长条缝隙（14）和石英舟（15）后设置在石英舟（15）上方，在两个梳齿状托架（11）之间设置有硅片（12）。/n