[发明专利]一种石英舟硅片的顶升机构在审
申请号: | 201911144664.4 | 申请日: | 2019-11-20 |
公开(公告)号: | CN110739261A | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
发明(设计)人: | 陈嘉荣;吕沫;卫晓冲;杜虎明;岳军;王彩云;李云峰;高布瑾 | 申请(专利权)人: | 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 14106 山西华炬律师事务所 | 代理人: | 陈奇 |
地址: | 030024 山西*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英舟 安装架 梳齿状 托架 丝杠驱动机构 底板 长条缝隙 顶升架 硅片 滑块 彼此平行 顶升机构 生产效率 使用寿命 托起机构 维修更换 制造成本 立板 托齿 穿过 | ||
本发明公开了一种石英舟硅片的顶升机构,解决了现有托起机构存在的制造成本高维修更换不方便和使用寿命低的问题。包括丝杠驱动机构,在丝杠驱动机构上连接有滑块(7),滑块(7)与顶升架底板(9)连接,在顶升架底板(9)上间隔地彼此平行地设置有两立板(10),在每个立板(10)的顶端均设置有梳齿状托架(11);在石英舟安装架(13)上设置有石英舟(15),在石英舟下方的石英舟安装架(13)上设置有长条缝隙(14),两个梳齿状托架依次穿过石英舟安装架(13)上的长条缝隙(14)和石英舟(15)后设置在石英舟(15)上方,在两个梳齿状托架之间设置有硅片(12)。提高托齿的安装精度,提升生产效率。
技术领域
本发明涉及一种太阳能电池片生产设备,特别涉及一种在扩散制结工艺中对石英舟内的成组硅片进行顶托起的机构。
背景技术
太阳能电池片的生产工艺,大致可以归纳为:硅片检测、表面制绒及酸洗、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀及酸洗、镀减反射膜、丝网印刷、快速烧结;完成表面制绒及酸洗工艺的硅片需要先从扩散工艺篮具中转运到石英舟内,然后,再将装载有硅片的石英舟传送到烧结炉中,对硅片进行扩散制结;硅片从扩散工艺篮具转运到石英舟内的操作是通过石英舟装片机完成的;在石英舟装片机上分别设置有石英舟传送轨道和扩散工艺篮具传送轨道,在石英舟传送轨道上设置有石英舟,在扩散工艺篮具传送轨道上设置有扩散工艺篮具,在两轨道上方设置有抓取并转运硅片的吸盘机构,经过表面制绒及酸洗后的硅片,每100片为一组,被平放在扩散工艺篮具中,平放有硅片的扩散工艺篮具被运送到石英舟装片机的上料平台上,之后篮具被传送到吸盘机构的正下方;首先,要完成硅片的抓取动作,在吸盘机构的正下方设置有硅片托起机构,托起机构的任务是将篮具中的硅片托起,使其脱离篮具,以方便吸盘抓取,具体过程为:托架从篮具下方穿过篮具底端向上举升,将篮具中的50片一组的硅片向上托离篮具,吸盘下探,将50片硅片吸附抓取,吸着50片硅片的吸盘机构带着抓取的硅片向石英舟上方传送,在传送过程中,吸盘旋转45度,使被抓取的硅片转变姿态,呈菱形布置状态,当抓取有硅片的吸盘机构移动到石英舟正上方时,石英舟下方的顶起机构的托架穿过石英舟底部,从石英舟中升起,在顶起机构的托架顶端设置有一组托齿,吸盘将旋转后的50片硅片向下放置到一组托齿上,此时硅片在托齿上仍呈菱形放置状态,接手硅片的顶起机构下降,再将一组硅片呈菱形放置状态转载到石英舟中,从而完成整个石英舟硅片的装片装载工作,装满硅片的石英舟被传送进扩散炉内去进行扩散制结工艺。
现有石英舟的结构是由两端板和4根连接杆组成,在两端板的底部之间间隔地设置有两根硅片底部支撑杆,在两端板两侧分别设置有一根硅片限位杆,在硅片限位杆上布置有间距恒定的齿槽;硅片顶升机构设置在石英舟的正下方,现有的顶升机构的结构为:在顶升架底座上彼此平行地设置有两个托板,在每个托板的顶端均设置有疏齿状托架,顶升架底座与丝杠举升驱动机构连接在一起,通过丝杠驱动电机实现顶升架底座的升降,托板上方的疏齿状托架是从石英舟中底部的两根硅片底部支撑杆之间的间隙中向上升起的,升起后等待吸盘放置硅片,吸盘将篮具中的硅片运送到石英舟的正上方后,吸盘下降将硅片放置到升起的托板上方的疏齿状托架上,丝杠驱动电机驱动顶升机构下降,将硅片转运到石英舟上的两根间距恒定的齿槽限位杆上,从而完成硅片从篮具到石英舟的转运。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造