[发明专利]一种石英舟硅片的顶升机构

权利要求书

1.一种石英舟硅片的顶升机构，包括丝杠支撑架（1）和石英舟安装架（13），丝杠支撑架（1）设置在石英舟安装架（13）的正下方，其特征在于，在丝杠支撑架（1）上安装有沿上下竖直方向设置的丝杠导轨安装板（2），在丝杠导轨安装板（2）上设置有一对丝杠支撑座（4）和滑块导轨（3），在一对丝杠支撑座（4）上安装有沿上下竖直方向设置的丝杠（5），在丝杠支撑架（1）上设置有丝杠驱动电机（6），丝杠驱动电机（6）的输出轴通过联轴器与丝杠（5）连接在一起，在丝杠（5）上设置有丝杠螺母，在丝杠螺母的左侧面上连接有滑块（7），滑块（7）设置在滑块导轨（3）上，在丝杠螺母的右侧面上设置有连接过渡板（8），在连接过渡板（8）上设置顶升架底板（9），在顶升架底板（9）上间隔地彼此平行地设置有两立板（10），在每个立板（10）的顶端均设置有梳齿状托架（11）；在石英舟安装架（13）上设置有石英舟（15），在石英舟（15）下方的石英舟安装架（13）上设置有长条缝隙（14），两个梳齿状托架（11）依次穿过石英舟安装架（13）上的长条缝隙（14）和石英舟（15）后设置在石英舟（15）上方，在两个梳齿状托架（11）之间设置有硅片（12）。

2.根据权利要求1所述的一种石英舟硅片的顶升机构，其特征在于，梳齿状托架（11）是由托齿底架板（16）、长条状托齿（19）和托齿固定盖板（23）组合而成的，在托齿底架板（16）的前侧面上的中上部沿上下竖直方向等间隔地设置有长条状凹槽（17），在长条状凹槽（17）的顶端设置有开口（27），在长条状凹槽（17）下方的托齿底架板（16）的前侧面上设置有带螺纹的沉孔（18），在长条状托齿（19）的顶端设置有硅片插入U形槽（20），在托齿固定盖板（23）的上部等间隔地设置有固定长条状托齿的顶丝孔（25），在托齿固定盖板（23）的下部设置有连接螺栓穿过通孔（24）；长条状托齿（19）的下端活动插接在托齿底架板（16）上的长条状凹槽（17）中，托齿固定盖板（23）靠接在托齿底架板（16）的前侧面上，连接螺栓从连接螺栓穿过通孔（24）穿过后与托齿底架板（16）的前侧面上设置的带螺纹的沉孔（18）螺接在一起。

3.根据权利要求2所述的一种石英舟硅片的顶升机构，其特征在于，在长条状托齿（19）的顶端设置的硅片插入U形槽（20）的槽底设置有45度倾斜面（21）；在顶丝孔（25）中设置有顶丝（26）；在硅片插入U形槽（20）两侧的长条状托齿（19）的顶端均设置有锥形顶尖（22），锥形顶尖（22）的顶角为10.2度。