[发明专利]一种滤波器芯片封装结构及其晶圆级封装方法在审
申请号: | 201911130238.5 | 申请日: | 2019-11-18 |
公开(公告)号: | CN110943710A | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 王之奇;胡津津 | 申请(专利权)人: | 王之奇;胡津津 |
主分类号: | H03H9/64 | 分类号: | H03H9/64;H03H9/02;H03H9/05;H03H9/10;H01L41/053;H01L41/23 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种滤波器芯片封装结构及其晶圆级封装方法,滤波器芯片封装结构包括:滤波器芯片,其正面具有功能区以及设置于功能区周围的多个焊垫;保护膜,覆盖所述滤波器芯片的正面;支撑围墙,设置于所述保护膜与所述滤波器芯片的正面之间,所述支撑围墙、保护膜以及滤波器芯片之间包围形成密封腔,所述功能区位于所述密封腔内;所述支撑围墙覆盖所述焊垫并包围所述功能区;所述保护膜对应焊垫的位置具有通孔,所述通孔至少穿透所述保护膜以及所述支撑围墙,所述通孔暴露所述焊垫;金属连接结构,形成于所述通孔中,所述金属连接结构与所述焊垫电性连接。 | ||
搜索关键词: | 一种 滤波器 芯片 封装 结构 及其 晶圆级 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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