[发明专利]用于多光谱图像传感器的复合型滤光结构

摘要

本发明公开了一种用于多光谱图像传感器的复合型滤光结构，包括基底，所述基底上设置有金属孔层，所述金属孔层上设置有介质覆盖层，所述金属孔层上设置周期性排列的孔单元，所述孔单元包括至少两组不同形状的金属孔。本发明在结构各层厚度不变的情况下，改变结构参数可实现红绿蓝三原色及近红外波段的输出，避免了制备工艺中的多次光刻步骤，采用金属圆孔与金属十字孔复合的滤光结构，相比一般的金属孔滤光结构可协调的结构参数更多，能够更细微地调控光谱的中心波长、带宽、透射率等性能，同时结构在入射光15°入射角范围内具有良好的角度宽容性。