[发明专利]用于多光谱图像传感器的复合型滤光结构

权利要求书

1.一种用于多光谱图像传感器的复合型滤光结构，其特征在于，包括基底(1)，所述基底(1)上设置有金属孔层(2)，所述金属孔层(2)上设置有介质覆盖层(3)，所述金属孔层(2)上设置周期性排列的孔单元，所述孔单元包括至少两组不同形状的金属孔。

2.根据权利要求1所述的用于多光谱图像传感器的复合型滤光结构，其特征在于，所述金属孔包括圆孔和十字孔，所述圆孔和十字孔呈间隔排列。

3.根据权利要求2所述的用于多光谱图像传感器的复合型滤光结构，其特征在于，所述十字孔长度为100-200nm，宽度为40nm-80nm，圆孔直径为80-140nm，间隔周期为120nm-220nm。

4.根据权利要求2所述的用于多光谱图像传感器的复合型滤光结构，其特征在于，所述十字孔长度为250-300nm，宽度为40nm-80nm，圆孔直径为150-200nm，间隔周期为300nm-350nm。

5.根据权利要求1所述的用于多光谱图像传感器的复合型滤光结构，其特征在于，所述基底(1)采用石英玻璃或柔性透明材料制成。

6.根据权利要求1所述的用于多光谱图像传感器的复合型滤光结构，其特征在于，所述金属孔层(2)采用金、银、锗、钛或铝制成。

7.根据权利要求1所述的用于多光谱图像传感器的复合型滤光结构，其特征在于，所述介质覆盖层(3)采用二氧化硅、氮化硅、PMMA、氟化镁或氧化铝制成。

8.根据权利要求1所述的用于多光谱图像传感器的复合型滤光结构，其特征在于，所述金属孔层(2)的厚度为100nm～200nm。

9.根据权利要求1所述的用于多光谱图像传感器的复合型滤光结构，其特征在于，所述介质覆盖层(3)的厚度为50nm～200nm。

10.一种多光谱图像传感器，其特征在于，包括权利要求1-9所述的复合型滤光结构及感光元器件，所述复合型滤光结构集成于所述感光元器件上。