[发明专利]向真空腔室内的多功能管线导入机构、成膜装置和系统在审
| 申请号： | 201911116001.1 | 申请日： | 2019-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN111663099A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 若林洋介;上续乐 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供向真空腔室内的多功能管线导入机构、成膜装置和系统，即使腔室变形、支承机构变形、臂姿势变化，也能维持臂连结部的真空密封性能。管线导入机构具备：蒸镀源，能在内部能减压的真空腔室内部移动；第1转动部，能使第1臂部绕第1轴转动地与真空腔室内壁连接；第2转动部，能使第2臂部绕第2轴转动地与第1臂部连接；第3转动部，能使第2臂部绕第3轴转动地与蒸镀源连接，使蒸镀源动作的多功能管线经将第1转动部～第3转动部内部连通并与真空腔室外相连的气密构造的导入路导入并与蒸镀源连接，第1转动部能绕与第1轴交叉的轴摆动地将第1臂部连接于真空腔室的内壁，第3转动部能绕与第3轴交叉的轴摆动地将第2臂部连接于蒸镀源。 | ||
| 搜索关键词： | 空腔 室内 多功能 管线 导入 机构 装置 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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