[发明专利]向真空腔室内的多功能管线导入机构、成膜装置和系统

说明书

本发明提供向真空腔室内的多功能管线导入机构、成膜装置和系统，即使腔室变形、支承机构变形、臂姿势变化，也能维持臂连结部的真空密封性能。管线导入机构具备：蒸镀源，能在内部能减压的真空腔室内部移动；第1转动部，能使第1臂部绕第1轴转动地与真空腔室内壁连接；第2转动部，能使第2臂部绕第2轴转动地与第1臂部连接；第3转动部，能使第2臂部绕第3轴转动地与蒸镀源连接，使蒸镀源动作的多功能管线经将第1转动部～第3转动部内部连通并与真空腔室外相连的气密构造的导入路导入并与蒸镀源连接，第1转动部能绕与第1轴交叉的轴摆动地将第1臂部连接于真空腔室的内壁，第3转动部能绕与第3轴交叉的轴摆动地将第2臂部连接于蒸镀源。

技术领域

本发明涉及将以电气配线、冷却介质的配管等为代表的多功能管线(日文：ユーティリティライン)从真空腔室外导入在真空腔室内能够移动地被支承的蒸镀源等的机构。进而涉及具备多功能管线导入机构的成膜装置以及成膜系统。

背景技术

近年来，在自发光型中，视角、对比度、响应速度优异的有机EL元件被广泛地应用于以壁挂式电视机为代表的各种显示装置。

通常，有机EL元件通过将基板搬入真空腔室内并在基板上形成规定图案的有机膜的方法来制造。更详细而言，经过向维持真空的成膜室内搬入基板的工序、使基板与掩模高精度地位置对合(对准)的工序、成膜有机材料的工序、和将成膜完毕的基板从成膜腔室搬出的工序等来制造。

在对有机材料进行成膜的工序中，使用设置在真空腔室内的蒸镀源来蒸镀有机材料，但需要将传递电力、信号的电气配线、供给冷却介质的配管等多功能管线从真空腔室外导入并连接于蒸镀源。但是，这些电气配线、配管通常真空耐压小，因此，经由真空气氛内与蒸镀源连接可以说是不现实的。

另一方面，蒸镀源需要在真空腔室内能够移动地被支承。例如，为了在基板面均匀地成膜，有时以扫描基板面的方式使蒸镀源移动。另外，在为了提高生产率而在真空腔室内设置多个基板载置台的情况下，为了使蒸镀源能够在基板载置台之间循回，有时能够移动地支承蒸镀源。

为了将多功能管线连接于能够移动的蒸镀源，已知有在蒸镀源上连接可动臂，将可动臂的壳体形成为气密构造，将其内部维持在大气压，将多功能管线导入真空腔室内的方法。即，将多功能管线经由维持为大气压的可动臂的内部空间导入真空腔室并与蒸镀源连接。

在专利文献1中，记载了具备通过第1连结部连结于真空腔室的底面的第1臂、通过第2连结部连结于第1臂的第2臂、以及通过第3连结部连结于第2臂的蒸镀源的装置。第1连结部、第2连结部以及第3连结部分别将连结的对方的第1臂、第2臂以及蒸镀源支承为能够在水平面内旋转。而且，使第1臂、第2臂、第1连结部、第2连结部、第3连结部以气密构造连通而将内部空间维持为大气压，经由该内部空间而将多功能管线与蒸镀源连接。

另外，在专利文献2中，记载了具备连接第1连接臂和第2连接臂的旋转连结部，将它们形成为气密构造而使内部成为大气压的装置。在该装置中，通过使旋转连结部能够相对地进行球面运动，能够防止在第1连接臂与第2连接臂之间施加有伴随偏角的径向载荷时连结部的磁性流体密封件破损而导致真空密封性能降低。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-299176号公报

专利文献2：日本特开2015-121265号公报

近年来，随着处理的基板尺寸的大型化，存在成膜装置的真空腔室大型化的倾向。若真空腔室大型化，则对腔室内进行减压时的腔室的变形也变大。

另外，随着基板尺寸的大型化，增加了蒸镀材料的存积量的蒸镀源的重量增加，并且真空腔室内的蒸镀源的移动距离有变大的倾向。因此，在使蒸镀源移动时，有时移动机构产生变形。