[发明专利]一种短相干泰曼干涉的色散补偿方法及测量装置在审
| 申请号： | 201911103516.8 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110595352A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 朱秋东;苑静;张喆民;王姗姗;刘彬;王伟志 | 申请（专利权）人： | 北京奥博泰测控技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102400 北京市房*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种短相干泰曼干涉的色散补偿方法及测量装置。色散补偿方法为在短相干泰曼干涉仪中设置可旋转的细调补偿板和可更换的粗调补偿板，通过旋转细调补偿板改变其法线方向与所在光路光轴的夹角大小和更换不同厚度的粗调补偿板，实现参考光和测试光之间各波长光程差为零，进行色散补偿。本发明操作方便，可实现连续可调测量不同厚度透明平板样品的透射波像差。 | ||
| 搜索关键词： | 补偿板 色散补偿 相干 粗调 细调 透射波像差 测量装置 法线方向 光路光轴 可旋转的 连续可调 透明平板 波长光 参考光 测试光 干涉仪 可更换 程差 测量 干涉 | ||
【主权项】：
1.一种短相干泰曼干涉的色散补偿方法，其特征在于，在短相干泰曼干涉仪中设置可旋转的细调补偿板和可更换的粗调补偿板，通过旋转所述细调补偿板改变其法线方向与所在光路光轴的夹角大小和更换不同厚度的所述粗调补偿板，实现参考光和测试光之间各波长光程差为零，进行色散补偿，其中：所述细调补偿板和所述粗调补偿板均与被测透明平板样品具有相同色散特性。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京奥博泰测控技术有限公司，未经北京奥博泰测控技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911103516.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 一种用于消除半导体激光器调频干涉信号非线性的校正方法-201810459743.3
- 郑刚;高明;刘卫国;陈海滨;张雄星;王伟;郭峰 - 西安工业大学
- 2018-05-15 - 2020-02-14 - G01B9/02
- 本发明涉及半导体激光器调频干涉传感及测量技术领域，具体涉及一种关于半导体激光器调频干涉信号非线性的校正方法。一种用于消除半导体激光器调频干涉信号非线性的校正方法，通过构建二阶或二阶以上多项式时域变换关系，对调频连续波激光干涉测量系统的拍频干涉信号，提取几个相邻极值点的时间位置，建立关于调制变换系数的多元线性方程组并求解得到调制变换系数的实际数值，带入所构建的二阶或者二阶以上多项式时域变换关系，对实测拍频信号进行变换，从而实现对半导体激光器调频连续波干涉信号非线性的校正，本方法可用于各种基于半导体激光器的调频连续波干涉测量系统，提高以半导体激光器为发射光源的光学调频连续波干涉测量系统的测量精度。
- 一种高精度激光干涉仪-201911011147.X
- 张白;刘杰;杨来龙;王鹤 - 北方民族大学
- 2019-10-23 - 2020-02-07 - G01B9/02
- 本发明涉及一种高精度激光干涉仪，包括读数头、以及分别设置在读数头两侧的第一固定直角反射镜组、第二固定直角反射镜组，所述第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组镜像对称设置，所述读数头包括激光源、分光镜、反射镜、移动直角反射镜组、聚光透镜、光电探测器。反射激光和透射激光这两路激光束经聚光透镜入射至光电探测器后发生干涉，光电探测器对干涉现象进行检测即可获得读数头对于第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组的相对位移量；读数头在移动时，干涉激光实现了差分效果，两路干涉激光中的其中一束激光光程在减小时，另一束激光光程必然在增大，提高了干涉激光光程差的放大倍数，从而提高了激光干涉仪的干涉位移测量精度。
- 低对比度下干涉系统自动调零和调幅的电路及其使用方法-201710993907.6
- 翟中生;唐旭晨 - 扬州智锐光电科技有限公司
- 2017-10-23 - 2020-02-07 - G01B9/02
- 本发明涉及光电信号处理技术领域，尤其是一种低对比度下干涉系统自动调零和调幅的电路，包括干涉信号光电转换电路、直流偏置消除电路、电压幅值自动调整电路和处理器，所述干涉信号光电转换电路用于接收干涉条纹并输出光电数字信号输出，所述直流偏置消除电路接收光电数字信号后进行直流分量调零处理，所述电压幅值自动调整电路分别与直流偏置消除电路和处理器连接，用于调整输入处理器内的电压值符合处理要求，所述处理器分别连接直流偏置消除电路和电压幅值自动调整电路，本发明能够自动消除背景的影响,尽量适应不同背景光条件。
- 一种基于频域OCT技术的三维彩色动态成像装置-201920287555.7
- 岑臻涛;曾亚光;刘碧旺;何镇楠;岑颖珊;秦晓萌;韩定安;熊红莲;王茗祎 - 佛山科学技术学院
- 2019-03-07 - 2020-02-07 - G01B9/02
- 本实用新型公开了一种基于频域OCT技术的三维彩色动态成像装置，包括光谱光学相干层析扫描系统、图像互相关系统和电脑处理终端；所述光谱光学相干层析扫描系统包括：第一光源、第一光纤耦合器、第一准直器、第一聚焦透镜、反射镜、第二光源、第二光纤耦合器、偏振控制器、第二准直器、二维振镜系统、第三准直器、光栅、第二聚焦透镜、CCD相机；所述图像互相关系统包括：二向色镜、分光镜、第三光源和彩色相机；本实用新型通过光谱光学相干层析扫描系统和图像互相关系统实现三维彩色成像，成像精度达到微米级别，分辨率高，同时扫描速度快，扫描距离长。
- 远场纳米级超分辨全场光学计量系统和方法-201880023855.2
- 保罗·蒙哥马利;西尔万·勒克莱;斯蒂芬妮·佩兰;奥黛丽·梁-荷伊 - 斯特拉斯堡大学;法国国家科学研究中心
- 2018-04-11 - 2020-02-07 - G01B9/02
- 一种用于在远场纳米级上传递样品或物体(6)的表面形貌信息的超分辨率全场光学计量系统，该系统包括：光源(2)；干涉仪(1a、1b、1c、1d)，其包括参考臂和物体臂，参考臂包含微球(9)和镜子(10)，物体臂包括类似于微球(9)的微球(7)并且紧邻物体(6)的表面(22)布置；接收装置(5)，其用于捕获干涉图；以及用于处理这些干涉图以生成表面形貌信息的装置。光源(2)是时间相干或部分相干的。干涉仪和用于处理干涉图的装置被设计成通过相移干涉法重建物体(6)的表面。
- 光纤法布里珀罗干涉仪非线性误差修正方法-201911031866.8
- 胡鹏程;董祎嗣;冉明;乐志涛 - 哈尔滨工业大学
- 2019-10-28 - 2020-01-24 - G01B9/02
- 光纤法布里珀罗干涉仪非线性误差修正方法属于光纤干涉测量技术领域；本发明在不需要改变反射镜位置的前提下，通过给激光波长可调制光源进行波长预扫描，利用输出激光波长的连续变化使干涉仪的测量的光程差产生连续的变化，使得探测器得到的干涉信号产生至少一个周期的相位变化，实现干涉信号特征参数的预提取，并利用预提取的特征参数在测量过程中实现非线性误差修正，进行高精度位移测量；本发明实现了对光纤法布里珀罗干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。
- 对比度可调点衍射干涉系统中波片设计及误差校正方法-201810038732.8
- 杨甬英;李瑶;陈元恺;王晨 - 浙江大学
- 2018-01-16 - 2020-01-24 - G01B9/02
- 本发明公开了一种对比度可调点衍射干涉系统中波片设计及误差校正方法。本发明采用在检测路中放置四分之一波片的方式进行光束偏振态的调整，进而实现干涉条纹对比度可调。本发明解决了波片放置于发散球面波中引入较大波前误差的问题。本发明的技术特点在于，波片采用凸面为非球面的平凸玻璃基底，在平面镀偏振膜层。利用波片基底的偶次非球面设计极大地降低了大数值孔径球面检测时引入的波前畸变像差。通过建立差分复原模型对波片引入的位姿误差进行校正。由于偶次非球面四分之一波片在检测路中的设计位置是固定的，因而位姿误差校正完成后，波片位置无需根据待测镜数值孔径的变化进行调整。本发明使点衍射系统调整简单，并且提高了检测效率。
- 一种利用轴向扫描光干涉法检测非球面的动态建模方法-201610975083.5
- 马骏;何庆浩;谢建康;石磊;魏聪;王磊;刘炳琦;巴图;张天宇 - 南京理工大学
- 2016-11-07 - 2020-01-24 - G01B9/02
- 本发明公开了一种利用轴向扫描光干涉法检测非球面的动态建模方法，使用zemax软件搭建干涉仪模型，在干涉仪模型中，利用matlab软件模拟驱动待测非球面镜轴向移动，对光线进行追迹、拟合和逆追迹，消除镜头畸变对光线追迹效果的影响，最终建立起待测非球面镜与CCD像元之间的物像关系，从而得到随着扫描的进行不断变化的一系列干涉图，提高了仿真的科学性。
- 一种深水应用碳涂覆光纤干涉仪-201920854188.4
- 王兴成;方正勇;魏博 - 山东锐峰光电科技有限公司
- 2019-06-07 - 2020-01-21 - G01B9/02
- 本实用新型公开了一种深水应用碳涂覆光纤干涉仪，所述干涉仪包括耦合器，耦合器的输出光纤端组装有法拉第旋光镜，干涉仪使用的光纤类型为碳涂覆光纤。耦合器经过碳涂覆光纤与法拉第旋光镜通过无熔接点的一体化方式连接。所述耦合器通过碳涂覆光纤连接的法拉第旋光镜的数量小于等于两个。所述耦合器外部设置有耦合器不锈钢管，耦合器不锈钢管内部安装有石英圆管，石英圆管内部安装有石英基板，碳涂覆光纤穿过石英基板。该光纤干涉仪防水性能好，体积小，适于深水区使用。
- 一种基于Morlet小波变换的白光干涉信号漏采样校正方法-201910898078.2
- 杨忠明;辛磊;刘兆军 - 山东大学
- 2019-09-23 - 2020-01-17 - G01B9/02
- 本发明涉及白光干涉测量方法的校正方法，属于精密测量信号处理技术领域。一种基于Morlet小波变换的白光干涉信号漏采样校正方法，包括以下步骤：将CCD采集到的干涉信号先进行高斯滤波处理，再进行Morlet小波变换处理，获得小波系数；根据小波系数找出漏采样位置，用三次样条插值法拟合干涉信号，补全光强变化曲线，获得经校正的新的干涉信号。本发明的方法，对干涉信号具有降噪及漏采样的校正作用，能够提高干涉测量结果精确性。
- 光纤迈克尔逊干涉仪非线性误差修正方法-201911036469.X
- 胡鹏程;董祎嗣;杨睿韬;乐志涛 - 哈尔滨工业大学
- 2019-10-28 - 2020-01-17 - G01B9/02
- 光纤迈克尔逊干涉仪非线性误差修正方法属于光纤干涉测量技术领域；本发明在不需要改变第一反射镜和第二反射镜位置的前提下，通过给激光波长可调制光源进行波长预扫描，利用输出激光波长的连续变化使干涉仪的参考光束与测量光束之间的光程差产生连续的变化，使得探测器得到的干涉信号产生至少一个周期的相位变化，实现干涉信号特征参数的预提取，并利用预提取的特征参数在测量过程中实现非线性误差修正，进行高精度位移测量；本发明实现了对光纤迈克尔逊干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。
- 压力不敏感的干涉仪-201580068955.3
- W.沃马克 - PGS地球物理公司
- 2015-12-03 - 2020-01-14 - G01B9/02
- 一种设备。所述设备包括衬底、被布置在所述衬底上的第一光波导以及被布置在所述衬底上的第二光波导。所述设备进一步包括被布置在所述衬底上的耦合元件，所述耦合元件被配置为将所述第一光波导中的光信号耦合至所述第二光波导，并且将所述第二光波导中的光信号耦合至所述第一光波导。第一反射元件被布置在所述第一光波导的端部处，被配置为反射所述第一光波导中的光信号。被布置在所述第二光波导的端部处的第二反射元件，被配置为反射所述第二光波导中的信号。
- 基于光学平面条纹图像处理的干涉测量系统误差标定方法-201811629906.4
- 朱新栋;杨树明;方素平;杨鹏程;王睍;刘勇;张国锋;吉培瑞 - 西安交通大学
- 2018-12-28 - 2020-01-10 - G01B9/02
- 本发明公开了一种基于光学平面条纹图像处理的干涉测量系统误差标定方法，将测量系统视作一个整体，先拍摄被测对象的一组干涉条纹图像，然后保持测量光学系统不动，将光学平面安装到被测对象的位置并拍摄其干涉条纹图像，最后通过处理光学平面条纹图像来标定实际测量光学系统的误差。该方法操作简单，仅需拍摄并处理一组光学平面的干涉条纹图像就可以标定测量光学系统误差，并补偿被测曲面的测量结果。该方法应用范围较广，可以用于常见的几种干涉测量系统的误差标定，提高干涉测量系统的精度。采用该方法能够统一仿真计算和实际测量光学系统之间的参数，从而实现计算机仿真计算的结果作为测量基准，避免使用实物基准，降低了测量成本，提高了测量的灵活性。
- 白光干涉实验仪-201920981440.8
- 陈凡;张俊飞;陈小林;王旭成;刘念陶;杨丽佳 - 复拓科学仪器(苏州)有限公司
- 2019-06-27 - 2020-01-07 - G01B9/02
- 本实用新型公开了一种白光干涉实验仪，包括白光光源、半导体激光器、第一分光镜、第二分光镜、被测平面、参考镜和成像机构，所述白光光源、半导体激光器分别设置在所述第一分光镜的相邻两侧方，所述白光光源和半导体激光器发出的光经所述第一分光镜后具有相同的光路，所述光路为光线经过所述第二分光镜分成两束分别经过所述被测平面、参考镜反射后再次经过所述第二分光镜后发生干涉并进入所述成像机构由所述成像机构显示。本实用新型利用半导体激光器进行各元件位置调整，解决直接依靠白光调整难度大，难以获得干涉条纹的问题，降低实验难度，提高成功概率。
- 正弦相位调制干涉仪PGC解调实时归一化修正装置及方法-201710918522.3
- 严利平;张世华;陈本永 - 浙江理工大学
- 2017-09-30 - 2019-12-27 - G01B9/02
- 本发明公开了一种正弦相位调制干涉仪PGC解调实时归一化修正装置及方法。构建含有测量干涉仪和监测干涉仪的光路结构，在两干涉仪的公共参考臂中放置电光相位调制器并同时施加高频正弦波调制和低频三角波调制；正弦调制用于产生相位载波，进行PGC解调得到含有待测相位信息的正交信号；三角波调制使正交信号周期性变化，对正交信号对应的李萨如图形进行椭圆拟合，实现PGC解调正交信号的实时归一化修正；通过计算两路干涉信号的相位差变化量算得被测位移，实现纳米级位移测量。本发明消除了PGC解调中相位调制深度、相位延迟、乘法器和滤波器增益等的变化引起的非线性误差，具有亚纳米级测量精度，适用于高端装备制造与加工领域中的精密位移测量。
- 一种激光干涉仪辅助对光装置-201920935985.5
- 高飞;景国丰;林浩 - 烟台环球数控科技有限公司;烟台环球机床装备股份有限公司
- 2019-06-20 - 2019-12-27 - G01B9/02
- 本实用新型公开了一种激光干涉仪辅助对光装置，包括具有平面底面的机座，机座上设置有垂直于机座的平面底面的立柱，载板通过垂直通孔可沿垂直方向升降地套装于立柱上，调节螺栓的末端伸入垂直通孔并压紧立柱以固定载板，载板的底面具有用于贴合激光干涉仪的干涉镜的第一平面，载板上设置有均沿垂直方向设置的光靶和晶体管激光器，晶体管激光器朝向正下方出射光束，光靶的上表面为靶面，晶体管激光器的出光孔至光靶中心的垂直距离等于激光干涉仪出光孔和回光孔的垂直距离。本实用新型的有益效果是：大大缩短了对光时间，提高了检测效率，减小了机床的检测占用时间，同时避免了因对光失误造成的检测误差。
- 用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪-201921058734.X
- 王孟哲;吴洋;梁正南;李恩全 - 宁波九纵智能科技有限公司
- 2019-07-09 - 2019-12-27 - G01B9/02
- 本实用新型涉及形貌测量仪技术领域，具体地说，涉及一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，其包括安装基台，安装基台的上表面的边缘处设有若干个沉孔，安装基台的正下方设有白光干涉系统安装座，白光干涉系统安装座内设有位于沉孔正下方的螺孔，沉孔内设有与螺孔相配合的螺栓，白光干涉系统安装座内设有用于转动螺栓的螺栓驱动机构。本实用新型不仅可以对物体表面的形貌进行测量，并且在形貌测量仪出现了故障之后可通过驱动机构转动螺栓使得白光干涉系统安装座脱离与安装基座的连接，方便了人们对于白光干涉系统安装座中的白光显微干涉光学系统进行检查，方便了对于该用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪的维护与安装，从而方便了日常的使用。
- 瞬时相位偏移干涉仪-201610552319.4
- 川崎和彦;松浦心平 - 株式会社三丰
- 2016-07-13 - 2019-12-24 - G01B9/02
- 一种瞬时相位偏移干涉仪，其使用相干距离比从参考面反射的光和从测量面反射的光之间的光路长度差小的光源。分割来自该光源的光束，并且使用能够调整的延迟光路来使第一光束延迟以引起光路长度差，并且将第一光束叠加在与第二光束相同的光轴上，之后产生参考光束和测量光束。在调整期间改变延迟光路的光路长度，分别拍摄多个干涉条纹图像，并且计算各个干涉条纹图像中所获得的干涉条纹的偏压、振幅和相位偏移量至少之一。基于偏压计算结果、振幅计算结果和相位偏移量计算结果来对测量对象的形状进行测量。
- 干涉物镜和光干涉测量装置-201610006884.0
- 本桥研 - 株式会社三丰
- 2016-01-05 - 2019-12-24 - G01B9/02
- 干涉物镜，包括：物镜系统；分束器，其被置于测量对象的测量表面和物镜系统的末梢端之间，将从物镜系统发出的光分光到参考光路和测量光路，并输出将通过参考光路的反射光和通过测量对象的反射光组合的组合波；参考镜，其被置于参考光路中，并反射由分束器分光到参考光路的光；镜保持组件，其具有球面形外表面，并保持参考镜，使得参考镜的反射表面通过球面的中心；支撑组件，其具有球面形内表面，并通过内表面支撑镜保持组件的外表面，其中所述内表面具有基本等于镜保持组件的外表面的直径；以及参考镜调节机构，其调节镜保持组件在支撑组件中的位置。
- 一种短相干泰曼干涉的色散补偿方法及测量装置-201911103516.8
- 朱秋东;苑静;张喆民;王姗姗;刘彬;王伟志 - 北京奥博泰测控技术有限公司
- 2019-11-13 - 2019-12-20 - G01B9/02
- 本发明提供了一种短相干泰曼干涉的色散补偿方法及测量装置。色散补偿方法为在短相干泰曼干涉仪中设置可旋转的细调补偿板和可更换的粗调补偿板，通过旋转细调补偿板改变其法线方向与所在光路光轴的夹角大小和更换不同厚度的粗调补偿板，实现参考光和测试光之间各波长光程差为零，进行色散补偿。本发明操作方便，可实现连续可调测量不同厚度透明平板样品的透射波像差。
- 波长编码的层析技术-201480055388.3
- 黄建业;张驰 - 香港大学
- 2014-10-13 - 2019-12-20 - G01B9/02
- 提供了用于非侵入式光学成像的系统和方法。一个或多个时间透镜可用于执行光学傅立叶变换，并且时间至波长转换可以生成波长编码的光学散射的图像，类似于光学相干层析技术。该光学傅立叶变换提供了改进的轴向分辨率并且简化了数据采集之后的数字信号处理。
- 一种白光干涉信号背景光强实时分离方法-201810252168.X
- 马龙;裴昕;孙凤鸣 - 中国民航大学
- 2018-03-26 - 2019-12-13 - G01B9/02
- 一种白光干涉信号背景光强实时分离方法。其包括扫描开始后，利用CCD相机记录前n个扫描位置处的图像，获取图像中某一特定像素点的光强变化情况，并为该像素点生成一组背景点集；上述像素点的初始背景模型建成后，从第n+1个扫描位置开始,CCD相机每采集一帧图像，对于第n+1个扫描位置,由该像素点的光强值和初始背景模型判断是否需要对初始背景模型进行更新；对于第n+1个扫描位置后的当前扫描位置,根据该像素点的光强值和当前背景模型判断是否需要对当前背景模型进行更新等步骤；根据更新后的当前背景模型分离背景光强，实时提取出白光干涉信号。本发明能有效区分背景光强与白光干涉信号，且计算过程简单，满足实时性要求。
- 双频激光器输出频差的稳频装置及方法-201611045876.3
- 张书练;李继扬;谈宜东 - 北京镭测科技有限公司
- 2016-11-21 - 2019-12-13 - G01B9/02
- 本发明涉及一种双频激光器输出频差的稳频装置，包括：磁场施加模块，用于产生与双频激光器输出的双频激光垂直的磁场；稳频模块，包括压电陶瓷设置于双频激光器的输出腔镜上；偏振片，设置于所述双频激光器输出的双频激光的光路上形成双频拍频光；光电探测器，用于接收双频拍频光，并将光信号转化为电信号；信号处理模块，用于采集光电探测器并转换为频差信号；压电陶瓷驱动模块，用于控制压电陶瓷的位移来调制施加在输出腔镜上的应力大小；数据处理模块，用于根据信号处理模块获得的电信号，调整施加在输出腔镜上的应力大小。本发明还提供一种稳频方法。本发明提供的双频激光器输出频差的稳频装置及方法能够精确控制双频激光器输出频差。
- 一种调控原子光栅的反射系数和相位的方法-201710989583.9
- 亓鲁;房建成;全伟;肖志松 - 北京航空航天大学
- 2017-10-20 - 2019-12-10 - G01B9/02
- 本发明涉及了一种调控原子光栅反射系数和相位的方法，其特征是通过操控原子光栅形成过程中激光的参数来实现对原子光栅反射系数和相位的调控，其中，原子光栅的反射系数是通过控制激光与原子作用时间长度来实现的，原子光栅的相位是通过控制激光的频率变化引起的相移来实现的，本发明可实现原子光栅反射系数和原子光栅相位的连续、精确调节，同时可以实现原子光栅反射系数和相位的独立调节，另外，本发明不涉及机械结构的运动，避免了由此引起的振动、磁滞误差、回程误差，具有调控方法简便、可连续调控、调控精度高、调节重复度高等优点，可用于精密测量中原子光栅的调控。
- 五维支撑调整座以及光学元件夹持装置-201920703207.3
- 韩森;王全召;张凌华;李雪园;张博 - 苏州慧利仪器有限责任公司
- 2019-05-16 - 2019-12-10 - G01B9/02
- 本实用新型提供一种五维支撑调整座以及光学元件夹持装置。本实用新型的五维支撑调整座包括：底座体；支撑架，设置在底座体上，能够沿Z轴的方向移动；以及依次设置在支撑架内的第一移动板、第二移动板和调整板，其中，支撑架具有底板、与Z轴的方向相垂直的端板、以及两个与X轴的方向相垂直的侧板，第一移动板设置在端板的内表面上，能够沿X轴的方向移动，第二移动板设置在第一移动板上，能够沿Y轴的方向移动，调整板设置在第二移动板上用于安装光学元件夹持机构，能够分别绕X轴和Y轴相对于第二移动板转动，五维支撑调整座还包括支撑架紧定件、第一移动板紧定件以及第二移动板紧定件。
- 相位生成载波反正切解调中非线性误差的实时计算方法-201711001592.9
- 陈本永;张世华;严利平 - 浙江理工大学
- 2017-10-24 - 2019-12-06 - G01B9/02
- 本发明公开了一种相位生成载波(PGC)反正切解调中非线性误差的实时计算方法。激光干涉仪产生的干涉条纹同时被两个光电探测器探测，且两个光电探测器的探测中心相距四分之一个周期的干涉条纹，移动干涉仪中的测量镜，干涉仪的待测相位连续变化，分别对两个光电探测器探测到的干涉信号进行PGC解调获得解调相位值，作差获得相位差，实时检测获得相位差的非线性项的峰峰值，并根据该峰峰值计算解调相位对应的非线性误差的大小。本发明对PGC反正切解调引起的非线性误差进行实时评估，与传统的总谐波失真方法相比，具有实现简单、评估结果直观、实时性好等优点，可广泛应用于干涉型光纤传感器、自混合干涉仪等相位解调非线性误差的评估。
- 飞秒激光器分布式干涉仪系统-201910917274.X
- 张少林;张万祯;周秋玲 - 深圳市威富视界有限公司
- 2019-09-26 - 2019-12-03 - G01B9/02
- 本申请提供一种飞秒激光器分布式干涉仪系统。通过第一光学频率梳和第二光学频率梳发出的光分为多路子测量光和多路子本振光。一路子测量光和一路子本振光一一对应，并入射至一个干涉仪装置。此时，子测量光经干涉仪装置照射至被测物体，经被测物体反射后入射至干涉仪装置，干涉仪装置出射的子测量光与子本振光合并，形成干涉信号。干涉仪装置根据干涉信号获取被测物体的测量信息。通过一路子测量光、一路子本振光和一个干涉仪装置实现对一个被测物体的测量信息进行检测。飞秒激光器分布式干涉仪系统实现了双光梳光源同时测量多个所述被测物体，可以实现检测大量的所述被测物体，大幅度降低了系统成本，节省了检测时间，提高了检测效率。
- 一种外接式相位定量检测装置与方法-201910822369.3
- 文永富;程灏波;陈欣 - 北京理工大学
- 2019-08-30 - 2019-11-29 - G01B9/02
- 本发明涉及一种便携式数字全息显微成像装置与方法，沿光路方向依次包括一维衍射光栅、第一半透半反镜、第一成像透镜、第一反射镜、第二成像透镜、第二反射镜、相机和计算机。本发明将光栅衍射技术和数字全息技术相结合，能够获得全视场内对比度更好的干涉条纹图，能够实现全视场内物体的相位定量测量。本发明可以直接作为光学显微镜的外接设备使用，用于微透镜阵列、生物细胞等微纳结构物体的相位测量，因此具有很强的应用价值和市场前景。
- 气浴控制装置-201610791444.0
- 刘连军 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 2016-08-31 - 2019-11-26 - G01B9/02
- 本发明提供的气浴控制装置采用气压匀化单元和气体释放单元的双层气浴结构，所述气压匀化单元将输入气体通过多管道降压成匀压气体，传送到边缘的贯通管道；所述气体释放单元包括多个气浴出风口，将所述匀压气体通过所述气浴出风口释放，形成薄膜气浴。本发明提供的气浴控制装置结构超薄，能够在在紧凑空间下使用，解决了现有气浴结构尺寸过大问题。
- 一种基于法布里-珀罗原理的位移传感器-201920240302.4
- 陈昌林;唐锋 - 江苏弘开传感科技有限公司
- 2019-02-26 - 2019-11-26 - G01B9/02
- 本申请公开一种基于法布里‑珀罗原理的位移传感器，所述位移传感器包括：外壳、光纤、反光镜和位移折减结构；其中，所述光纤的端部为第一反射面，所述反光镜为第二反射面；所述位移传感器的探杆发生第一位移改变量时，所述位移折减结构将所述第一位移改变量折减成第二位移改变量并带动所述第二反射面发生第二位移改变量，所述第二位移改变量小于所述第一位移改变量且和所述第一位移改变量成线性关系，通过测量所述第一反射面和所述第二反射面之间的干涉腔长变化量，确定所述第二位移改变量，并基于所述第一位移改变量与所述第二位移改变量之间的关系确定所述第一位移改变量。
- 专利分类
