[发明专利]电桥式随机存取存储器及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201911098593.9 申请日: 2019-11-12
公开(公告)号: CN112864185A 公开(公告)日: 2021-05-28
发明(设计)人: 林志曜;许博砚;吴伯伦 申请(专利权)人: 华邦电子股份有限公司
主分类号: H01L27/24 分类号: H01L27/24;H01L45/00
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 周晓飞;许曼
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明提供一种电桥式随机存取存储器及其制造方法。此电桥式随机存取存储器包括底电极、金属间介电质、电阻转态组件以及顶电极。其中底电极位于基板上,金属间介电质位于底电极上。电阻转态组件位于底电极上和位于金属间介电质中,且具有倒T型的剖面。顶电极位于电阻转态组件以及金属间介电质上。本发明的电桥式随机存取存储器可以限制导电路径形成位置,还可以良好控制高电阻状态和低电阻状态之间的转换,并且降低电桥式随机存取存储器中不同的存储单元的操作变异性,进而提高最终产品的良率及可靠度。
搜索关键词: 电桥 随机存取存储器 及其 制造 方法
【主权项】:
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