[发明专利]一种高定向精度硅籽晶制作方法在审
| 申请号： | 201911072014.3 | 申请日： | 2019-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN110923819A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 季振国;李阳阳;席俊华 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06;C30B15/36 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 杨舟涛 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高定向精度硅籽晶制作方法。本发明方法首先在圆柱体硅单晶晶锭一个端面上标注相互垂直的两条直径，并在圆柱体侧壁上沿轴向标注四条直线，然后在标注直径的一端切割下圆片形硅片，根据四条直线将硅片进行定向，确定该硅片与特定晶向的偏离程度和偏离方向，根据该方向标注出在硅片圆周上的起始点，将硅片恢复至硅单晶晶锭原来位置，并置于底座上，在另一个端面上对应起始点位置根据偏离程度垫高，将套筒套在底座上，注入环氧树脂并固化，最后根据需要的硅籽晶直径钻取圆柱形的圆柱形籽晶。本发明方法原理清楚、方法简单，制作的硅籽晶定向精度高。利用高精度籽晶拉制的直拉硅单晶外形接近圆形，没有明显的扁棱结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 定向 精度 籽晶 制作方法 | ||
【主权项】：
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