[发明专利]一种精密线路的外部蚀刻补偿方法在审
| 申请号： | 201911044621.9 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110753452A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 方磊;王健;孙彬;沈洪;李晓华 | 申请（专利权）人： | 江苏上达电子有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 32220 徐州市三联专利事务所 | 代理人： | 陈鹏 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，在线路周围形成均匀的空白区域，蚀刻后得到均匀的线路。本发明通过在线路周围设计规则的外部补偿图形使线路周围形成相同的密集度，药水交换速度相同，可消除不同区域、不同类型的线路图形尺寸差异，最终达到相同的蚀刻效果，得到均匀的线路。另外，由于采用的外部补偿图形是规则图形，设计工作难度低，补偿规则简单，设计方便，且外部补偿图形设计的宽度较小，在蚀刻过程中被侧蚀蚀刻掉，无需再做其他特殊处理。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 补偿图形 外部 补偿规则 尺寸差异 工作难度 规则图形 空白区域 设计规则 蚀刻补偿 线路图形 密集度 药水 侧蚀 精密 交换 | ||
【主权项】：
1.一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，其特征在于，在线路周围形成均匀的空白区域，蚀刻后得到均匀的线路。/n
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