[发明专利]一种真空镀膜机的蒸发装置有效
| 申请号： | 201911042223.3 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110629168B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 刘坤;关天恩;阮智伟;胡强;巴德纯 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11613 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 110169 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空镀膜机的蒸发装置，其包括：蒸发舟、加热系统、布气系统，蒸发舟包括有蒸发舟内层、蒸发舟外层和活动盖板，蒸发舟内层位于蒸发舟外层与活动盖板之间，活动盖板开设有多个蒸发孔，蒸发舟内层上开设有与蒸发孔对应的蒸发凹槽；加热系统包括多个相对独立的蒸发源，蒸发源设置有内坩埚，内坩埚嵌套于蒸发凹槽内，蒸发源能够对放置在内坩埚内的物体进行加热；设置多级二元型结构的布气管路，实现进气量的均匀性的控制，使蒸发气体与外部通入气体可以充分混合，形成均匀的复合薄膜。本发明采用蜂窝状结构的蒸发源加热效率高，能够保证材料的大面积加热蒸发时的均匀性，减少溅射现象，适用于大面积高速卷绕镀膜工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜机的蒸发装置，其特征在于，所述蒸发装置包括：/n蒸发舟，所述蒸发舟包括有蒸发舟内层、蒸发舟外层和活动盖板，所述蒸发舟内层位于蒸发舟外层与活动盖板之间，所述活动盖板开设有多个蒸发孔，所述蒸发舟内层上开设有与所述蒸发孔对应的蒸发凹槽，蒸发孔与蒸发凹槽均按蜂窝状进行排布；/n加热系统，所述加热系统包括多个相对独立的蒸发源，所述蒸发源设置有内坩埚，所述内坩埚嵌套于所述蒸发凹槽内，所述蒸发源能够对放置在所述内坩埚内的物体进行加热；/n布气管道，所述布气管道设置在于所述蒸发舟上端，所述布气管道开设有进气口和多个出气口，所述进气口连接外部气体源，所述出气口朝向所述蒸发源。/n
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