[发明专利]MEMS气体检测系统及方法在审
| 申请号： | 201911025970.6 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN110749629A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 徐迎庆;路奇;杨佳伟;贾艳红 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 苗晓静 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种MEMS气体检测系统及方法，该系统包括：传感器阵列集成电路板、控制模块和调温模块；传感器阵列集成电路板包括多个MEMS气体传感器和至少一个多路复用模块；调温模块用于对MEMS气体传感器进行加热；多个MEMS气体传感器采集气体信息后，通过多路复用模块，发送给控制模块；控制模块用于控制多路复用模块，获取MEMS气体传感器采集的气体信息，并发送至上位机进行分析。由于使用MEMS气体传感器，体积小，传感材料使用量会大大降低，且导电率相对较高，从而传感器电阻的动态范围较高，精度较高。通过多路复用模块发送给控制模块，有效减少控制模块的信息通路数量，大幅降低了数据接口占用数量。 | ||
| 搜索关键词： | 气体传感器 控制模块 多路复用 传感器阵列 集成电路板 调温模块 气体信息 采集 气体检测系统 传感器电阻 传感材料 数据接口 信息通路 有效减少 导电率 体积小 位机 加热 发送 占用 分析 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS气体检测系统，其特征在于，包括：/n传感器阵列集成电路板、控制模块和调温模块；/n所述传感器阵列集成电路板包括多个MEMS气体传感器和至少一个多路复用模块；/n所述调温模块用于对所述MEMS气体传感器进行加热；/n所述多个MEMS气体传感器采集气体信息后，通过所述多路复用模块，发送给所述控制模块；/n所述控制模块用于控制所述多路复用模块，获取所述MEMS气体传感器采集的气体信息，并发送至上位机进行分析。/n
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